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西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室

作品数:631 被引量:1,194H指数:13
相关作者:李伟华史永贵张晓菊马仲发王少熙更多>>
相关机构:佳木斯大学信息电子技术学院西安科技大学电气与控制工程学院西藏民族大学信息工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

文献类型

  • 538篇期刊文章
  • 93篇会议论文

领域

  • 484篇电子电信
  • 87篇理学
  • 38篇自动化与计算...
  • 13篇一般工业技术
  • 9篇电气工程
  • 4篇化学工程
  • 2篇机械工程
  • 1篇经济管理
  • 1篇哲学宗教
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇建筑科学
  • 1篇水利工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇医药卫生
  • 1篇社会学

主题

  • 65篇晶体管
  • 46篇4H-SIC
  • 45篇电路
  • 45篇应变SI
  • 41篇半导体
  • 38篇迁移率
  • 37篇阈值电压
  • 37篇ALGAN/...
  • 28篇电子迁移率
  • 27篇功耗
  • 26篇碳化硅
  • 25篇异质结
  • 25篇高电子迁移率
  • 25篇高电子迁移率...
  • 25篇SIC
  • 25篇GAN
  • 21篇互连
  • 21篇沟道
  • 21篇场效应
  • 18篇低功耗

机构

  • 631篇西安电子科技...
  • 9篇西安科技大学
  • 8篇中国电子科技...
  • 5篇佳木斯大学
  • 5篇武警工程学院
  • 5篇北京精密机电...
  • 5篇中国航天北京...
  • 4篇长安大学
  • 4篇西安邮电学院
  • 4篇中国科学院
  • 4篇西藏民族大学
  • 3篇国防科学技术...
  • 3篇西北大学
  • 3篇西北工业大学
  • 3篇湘潭大学
  • 3篇西安石油大学
  • 3篇中国电子科技...
  • 3篇中国人民解放...
  • 2篇宝鸡文理学院
  • 2篇北京信息科技...

作者

  • 161篇杨银堂
  • 117篇郝跃
  • 100篇张鹤鸣
  • 79篇张玉明
  • 75篇胡辉勇
  • 75篇张义门
  • 64篇刘红侠
  • 50篇柴常春
  • 47篇庄奕琪
  • 46篇宋建军
  • 42篇宣荣喜
  • 40篇戴显英
  • 30篇董刚
  • 26篇马晓华
  • 24篇李跃进
  • 23篇张进城
  • 21篇段宝兴
  • 21篇贾护军
  • 20篇汤晓燕
  • 16篇吕红亮

传媒

  • 161篇物理学报
  • 84篇西安电子科技...
  • 60篇Journa...
  • 25篇电子器件
  • 15篇微电子学
  • 14篇电路与系统学...
  • 14篇第十五届全国...
  • 13篇第十四届全国...
  • 12篇半导体技术
  • 11篇计算物理
  • 11篇固体电子学研...
  • 9篇电子学报
  • 7篇人工晶体学报
  • 7篇功能材料与器...
  • 7篇中国科学:物...
  • 6篇电子与信息学...
  • 5篇现代电子技术
  • 5篇中国科学:信...
  • 5篇第十六届全国...
  • 5篇第十七届全国...

年份

  • 3篇2024
  • 1篇2023
  • 5篇2022
  • 2篇2021
  • 3篇2020
  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 9篇2017
  • 9篇2016
  • 22篇2015
  • 52篇2014
  • 41篇2013
  • 49篇2012
  • 57篇2011
  • 73篇2010
  • 49篇2009
  • 94篇2008
  • 68篇2007
  • 49篇2006
  • 38篇2005
631 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
4H-SiC同质外延薄膜中表面研究
采用低压化学气相淀积(LPCVD)方法在偏向<1120>晶向8°n型4H-SiC(0001)Si面衬底上水平热壁反应室进行同质外延生长。利用原子力显微镜(AFM),观察外延晶片表面的中心、边缘以及边...
刘杰张玉明张义门王悦湖贾仁需郭辉韩征曹卿
关键词:碳化硅材料
延续摩尔定律的新材料——应变Si被引量:9
2007年
介绍了应变Si材料的需求背景和必要性。阐述了在MOS器件中使用衬底致双轴应变后器件性能的改善,在总结了与工艺致单轴应变相比衬底致双轴应变的不足以及工艺致单轴应变的优势之后,讲述了基于SiGe源漏和基于双应力线的两种工艺致单轴应变技术及其对MOS器件性能的提高。简单介绍了国际上近年来对应变Si材料与器件的研究发展状况和应变Si技术达到的各种水平,以及国内对应变Si的研究状况,并对应变Si技术的使用优势和应用前景做了简单分析。
任冬玲张鹤鸣舒斌户秋瑾宋建军
关键词:应变SI
AlGaN/GaN场板结构高电子迁移率晶体管的场板尺寸优化分析被引量:2
2008年
对不同场板尺寸的AlGaN/GaN场板结构高电子迁移率晶体管进行了研究,建立简化模型分析场板长度对沟道电场分布的影响.结果表明,调整钝化层厚度和场板长度都可以调制沟道电场的分布形状,当场板长度较小时,随着长度的增大器件击穿电压随之增加,而当长度增大到一定程度后器件击穿电压不再增加.通过优化场板长度,器件击穿电压提高了64%,且实验结果与模拟结果相符.
魏巍郝跃冯倩张进城张金凤
关键词:ALGAN/GAN击穿电压
The KP Dispersion Relation Near the Δ~i Valley in Strained Si_(1-x)Ge_x/Si被引量:5
2008年
Based on an analysis of symmetry, the dispersion relations near the Ai valley in strained Si1-x Gex (0≤x〈0.45)/ (001), (111), (101)Si are derived using the KP method with perturbation theory. These relations demonstrate that △^i levels in strained Si1-x Gex are different from the △1 level in relaxed Si1-x Gex, while the longitudinal and transverse masses (m1^* and mt^* ) are unchanged under strain. The energy shift between the △^i levels and the △1 level follows the linear deformation potential theory. Finally,a description of the conduction band (CB) edge in biaxially strained layers is given.
宋建军张鹤鸣舒斌胡辉勇戴显英
金属氧化物半导体场效应管热载流子退化的1/f~γ噪声相关性研究被引量:7
2008年
研究了金属氧化物半导体(MOS)器件在高、中、低三种栅压应力下的热载流子退化效应及其1/fγ噪声特性.基于Si/SiO2界面缺陷氧化层陷阱和界面陷阱的形成理论,结合MOS器件1/f噪声产生机制,并用双声子发射模型模拟了栅氧化层缺陷波函数与器件沟道自由载流子波函数及其相互作用产生能级跃迁、交换载流子的具体过程.建立了热载流子效应、材料缺陷与电参量、噪声之间的统一物理模型.还提出了用噪声参数Sfγ表征高、中、低三种栅应力下金属氧化物半导体场效应管抗热载流子损伤能力的方法.根据热载流子对噪声影响的物理机制设计了实验并验证这个模型.实验结果与模型符合良好.
刘宇安杜磊包军林
关键词:金属氧化物半导体场效应管热载流子
应变(001)p型金属氧化物半导体反型层空穴量子化与电导率有效质量
2014年
基于k·p微扰理论框架,研究建立了单轴张/压应变Si,Si基双轴应变p型金属氧化物半导体(PMOS)反型层空穴量子化有效质量与空穴面内电导率有效质量模型.结果表明:对于单轴应力PMOS,选择单轴压应力可有效增强器件的性能;同等增强PMOS空穴迁移率,需要施加的单轴力强度小于双轴力的强度;在选择双轴应力增强器件性能时,应优先选择应变Si1-x Ge x作为沟道材料.所获得的量化理论结论可为Si基及其他应变器件的物理理解及设计提供重要理论参考.
刘伟峰宋建军
晶圆级单轴应变SOI研究
将4英寸SOI片在自制的弧形弯曲台上进行机械弯曲,弯曲的硅片在250℃下退火20H,得到了单轴张应变的SOI样品。弯曲半径为0.75 M的应变SOI样品的拉曼频移为520.3 CM-1,相对于体硅,其拉曼频移差为-0.3...
关键词:SOI
文献传递网络资源链接
直接带隙Ge_(1-x)Sn_x本征载流子浓度研究
2014年
通过合金化改性技术,Ge可由间接带隙半导体转变为直接带隙半导体.改性后的Ge半导体可同时应用于光子器件和电子器件,极具发展潜力.基于直接带隙Ge1-x Sn x半导体合金8带Kronig-Penny模型,重点研究了其导带有效状态密度、价带有效状态密度及本征载流子浓度,旨在为直接带隙改性Ge半导体物理的理解及相关器件的研究设计提供有价值的参考.研究结果表明:直接带隙Ge1-x Sn x合金导带有效状态密度随着Sn组分x的增加而明显减小,价带有效状态密度几乎不随Sn组分变化.与体Ge半导体相比,直接带隙Ge1-x Sn x合金导带有效状态密度、价带有效状态密度分别低两个和一个数量级;直接带隙Ge1-x Sn x合金本征载流子浓度随着Sn组分的增加而增加,比体Ge半导体高一个数量级以上.
白敏宣荣喜宋建军张鹤鸣胡辉勇舒斌
应变Si电子电导有效质量模型被引量:5
2010年
采用K·P微扰法建立了应变Si导带能谷由纵、横向有效质量表征的E-k关系,并在此基础上,研究分析了(001),(101),(111)晶面应变Si电子的电导有效质量与应力、能谷分裂能及晶向的关系.结果表明,弛豫Si1-xGex材料(001)面生长的应变Si沿[100],[010]晶向的电子电导有效质量和弛豫Si1-xGex材料(101)面生长的应变Si沿[010]晶向的电子电导有效质量随Ge组分(应力)的增加而减小,并逐渐趋于常数.以上结论可为应变SinMOS器件性能增强的研究及导电沟道晶向与应力设计提供理论依据.
赵丽霞张鹤鸣胡辉勇戴显英宣荣喜
关键词:应变SI
金属有机物化学气相沉积生长的a(110)面GaN三角坑缺陷的消除研究
2009年
用金属有机物化学气相沉积方法在r面蓝宝石上生长了非极性a面GaN薄膜,通过采用AlGaN多量子阱插入层,得到了高质量的非极性GaN材料.用原子力显微镜和高分辨X射线衍射仪研究了a面GaN的表面形貌和结晶质量,发现非极性材料上典型的三角坑缺陷被消除,(110)面X射线双晶摇摆曲线的半峰宽为680″.
许晟瑞张进城李志明周小伟许志豪赵广才朱庆伟张金凤毛维郝跃
关键词:GAN原子力显微镜非极性
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