中国科学院微电子中心
- 作品数：45 被引量：54H指数：5
- 相关作者：刘明姜明哲李素杰张建宏李友更多>>
- 相关机构：山东大学北京大学中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程核科学技术更多>>
- 一种低功耗模拟单元电路的设计
- 在ＭＣＵ电路中包含－ＬＣＤ显示，只有当两个极板间电压大于ＶＬＣＤ时，该段才亮，否则将暗，为此作者设计了产生１／２偏压和１／３偏压的低功耗电路。
- 姜明哲袁国顺
- 关键词：低功耗LCD显示器
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- 八位到十六位机数据转换
- 该项目应用于八位机至十六位机的双向数据传输。该系统采用国际标准的ＲＳ－２３２通讯协议，在八位机、十六位机上各安装一块通讯接口卡，配上该公司开发的软件，即可实现我国目前拥有量很多、却不能兼容的两种微机之间的磁盘文件共享。该...
- 关键词：
- 关键词：通信控制设备数据传输数字转换器固件
- 可变矩形束电子曝光机电子束形态的精确修正
- 本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行调整,使制版的精度要求得到保证.经过调整,使电子束扫描场的拼接精度和旋转精度获得明显提高,同时还可以...
- 张建宏陆晶陈宝钦刘明牛洁斌
- 关键词：电子束曝光机
- 文献传递
- 一种利用自举效应的Charge-Recovery逻辑电路被引量：10
- 2000年
- 提出了一种新的 semi- adiabatic逻辑电路—— Bootstrap Charge- Recovery Logic( BCRL) .该电路由 semi- adiabatic电路完成逻辑运算 ,而由自举的 NMOS管驱动负载 ,对负载的操作为 full- adiabatic过程 .BCRL电路由两相无交叠脉冲时钟电源供电 ,输出为全摆幅脉冲信号 .比较了 BCRL反相器驱动电容负载时与静态 CMOS电路及部分文献中的 semi- adiabatic电路的功耗差别 .应用 0 .65μm CMOS工艺器件参数的模拟结果表明 ,BCRL电路可以在1 0 0 MHz脉冲电源频率下正常工作 。
- 李晓民仇玉林陈潮枢
- 关键词：逻辑电路
- 一种新的散射电子空间输运坐标转换方法被引量：6
- 2002年
- 提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程。 该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA-Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程。
- 任黎明陈宝钦谭震宇顾文琪
- 关键词：电子束曝光蒙特卡罗法
- 电子束曝光机模拟技术研究
- 本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.
- 任黎明陈宝钦刘明张建宏
- 关键词：电子束曝光弹性散射非弹性散射计算机模拟技术
- 文献传递
- 电子束曝光技术发展动态被引量：16
- 2000年
- 电子束曝光技术是近三十年来发展起来的一门技术 ,主要应用于 0 .1～ 0 .5μm的超微细加工 ,甚至可以实现纳米线条的曝光。文中重点介绍电子束曝光系统、电子束抗蚀剂以及电子束曝光技术的应用。
- 刘明陈宝钦梁俊厚李友徐连生张建宏张卫红
- 关键词：电子束曝光微细加工抗蚀剂
- CMOS集成电路用Φ6-8英寸外延硅材料
- 随着集成电路集成度不断提高,主流技术的集成电路已经发展到0.35微米或更小的水平,集成成电路对硅材料表面晶体完整性、吸杂特性等提出了更高的要求,P/P<''+>、N/N<''+>结构的硅外延材料,有效消除了硅抛光片表面的...
- 何自强龚义元何龙珠高秀峰
- 关键词：硅外延片集成电路
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- 基于IP的八位MCU设计
- 李志谦袁国顺陈潮枢姜明哲李素杰曾声瑜
- 关键词：电路结构设计
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- 一种实用化的八位MCU设计
- 袁国顺姜明哲李素杰钟贵昌陈潮枢仇玉林
- 关键词：电路结构
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