北京中电科电子装备有限公司
- 作品数：450 被引量：105H指数：5
- 相关作者：王明权李战伟胡章坤秦江更多>>
- 相关机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所中国电子科技集团公司北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种清洗机
- 本发明提供一种清洗机，通过在清洗装置一侧设置物料输送装置和预对准装置，物料输送装置提供物料，预对准装置限定物料在预对准位置，通过第一移动机构将物料从物料输送装置上的待抓取位置移动至预对准装置上的与预对准位置，再通过第二移...
- 吕超李长城孟庆嵩秦江崔岳刘凯赵婉云
- 文献传递
- 一种用于半导体磨削台的清洁装置
- 本发明实施例提供一种用于半导体磨削台的清洁装置，包括升降动力总成、电机总成、转轴及清洁头；其中，升降动力总成包括气缸及连接板；电机总成包括电机座及电机，电机固定设置于电机座上；连接板的一端与气缸固定连接，另一端与电机座固...
- 张景瑞张文斌李远航殷子文王欣刘宇光杨超
- 文献传递
- 一种研磨磨头保护装置
- 本发明提供了一种研磨磨头保护装置，所述研磨磨头保护装置包括：轴套，所述轴套与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套中；与所述轴套固定连接的缓冲装置；以及与所述缓冲装置固定连接的支撑结构，所述支撑...
- 贺东葛赵岁花张敏杰张景瑞刘宇光
- 文献传递
- 刀体冷却装置及空气静压电主轴
- 本发明公开了一种刀体冷却装置及空气静压电主轴，其中，该刀体冷却装置包括第一进液管、主支座以及至少一个喷管；其中，主支座固定在空气静压电主轴的壳体的外壁，第一进液管和喷管均连接至主支座，第一进液管通过主支座内部形成的通道与...
- 贾月明屈海蛟李战伟王明权
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- Z向工作台上的重力平衡装置及切割机
- 本发明提供的Z向工作台上的重力平衡装置，固定于基座上并为溜板提供向上的力的弹性装置。本发明实施例的切割机，包括Z向工作台，Z向工作台包括基座、可转动安装于基座上的丝杠、丝杠上安装通过丝杠转动可相对基座运动的溜板，Z向工作...
- 佀海燕杨树文秦江胡章坤
- 基于串口的工业控制模型
- 2010年
- 介绍了一种基于串口的工业控制模型,并通过一种全自动半导体设备的具体实例,讲解该模型的控制思想。实验证明,该工业控制模型实现简单,运行可靠,成本较低。对于其它自动化设备,也具有借鉴意义。
- 宋文超解坤宪刘鸿儒万弋
- 关键词：多串口工业控制VC++
- 一种电主轴的磨削冷却液进液机构及减薄机
- 本发明提供一种电主轴的磨削冷却液进液机构及减薄机，其中进液机构包括：一设有进液口的导液柱；所述导液柱与所述电主轴的转轴的磨削冷却液进液中心孔间隙密封。本发明的方案实现给电主轴导入磨削冷却液，同时不降低电主轴的静态跳动精度...
- 李战伟王明权贾月明佀海燕
- 文献传递
- 晶圆干式抛光的冷却结构、抛光装置以及冷却方法
- 本发明涉及半导体加工技术领域，更具体地，涉及一种晶圆干式抛光的冷却结构、抛光装置以及冷却方法。冷却结构包括风刀，抛光盘的下表面包括研磨区域以及冷却区域，冷却区域位于研磨区域的外围，风刀横向延伸至冷却区域下方；风刀具有整体...
- 谢贵久衣忠波郑辉孙莉莉周丹
- 一种旋转贴片头机构
- 本发明提供一种旋转贴片头机构，包括：设有多个可伸缩移动的吸嘴的旋转头；与旋转头相连的驱动电机且驱动电机能够驱动旋转头旋转；用于获取吸嘴上晶圆芯片的第一图像的第一识别相机，第一图像用于获取晶圆芯片的第一位置信息；用于获取工...
- 袁晓春高泽周丹王军帅霍杰崔洁郎平
- 文献传递
- 半导体器件管脚漏电流检测技术的研究被引量：1
- 2010年
- 介绍了一种半导体焊盘(PAD)与衬底(SUBTRATE)之间的漏电流检测的方法,这种漏电流检测的目的是为了判断芯片管脚是否完好地连接在引脚上。它的特点是数字化接口和快速高效的处理能力,可以在数毫秒之内完成IC芯片的管脚到衬底之间的漏电流甚至漏电容检测。系统用数字电路以嵌入式单片机为核心,模拟电路以运放和检测电路组成,是一个独立的开放式架构,可以和带有RS422/485接口的任何计算机或控制器通信,且可在线编程以便工艺参数修改。
- 谢珺耀谢秀镯
- 关键词：焊盘衬底漏电流检测控制器
