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任华

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：黑龙江大学电子工程学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 1篇任华
  • 1篇温殿忠
  • 1篇赵晓锋
  • 1篇王天琦

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜研究被引量：1
2006年
研究了〈100〉单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜,在EPW腐蚀液中因〈100〉单晶硅腐蚀速率各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜.基于EPW腐蚀液中〈100〉单晶硅存在严重凸角削角,采用带锯齿(9个、20个、36个)结构的齿轮掩膜图形腐蚀制作近似圆形硅膜,通过采用SEM观察,随腐蚀时间增加,圆形掩膜EPW腐蚀后硅膜为近似方形,而带有36个锯齿结构的齿轮掩膜腐蚀后硅膜近似圆形.结果表明,利用掩膜锯齿结构在EPW腐蚀液中存在凸角削角现象,能够实现近似圆形硅膜的制作.
赵晓锋温殿忠王天琦任华
关键词：各向异性腐蚀MEMS
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