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何熙

作品数：3 被引量：17H指数：1
供职机构：天津大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇探测器
  • 2篇红外
  • 1篇支撑柱
  • 1篇微腔
  • 1篇结构优化
  • 1篇金属
  • 1篇互连
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器
  • 1篇PECVD
  • 1篇SIO
  • 1篇SIO2

机构

  • 3篇厦门大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 3篇何熙
  • 2篇罗仲梓
  • 1篇陈松岩
  • 1篇谷丹丹
  • 1篇吕文龙
  • 1篇张春权
  • 1篇方辉

传媒

  • 1篇厦门大学学报...
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 3篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
2008年
基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺，所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺，对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明：当反转烘温度为96-98℃，第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时，可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti，成功剥离出高2.40μm、面积3.0μm×3.0μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高，胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时，也能剥离出所要图形，可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱.
何熙陈松岩方辉罗仲梓谷丹丹
红外微测辐射热计结构优化设计与制备
红外探测器是应用于热成像的主要探测技术，在国防、航天领域具有重要的战略意义。作为当今非制冷热成像的主流技术，氧化钒(VOx)微测辐射热计焦平面成像阵列具有重量轻、成本低，且符合单兵作战装备要求等优点，成为世界各国许多商业...
何熙
关键词：红外探测器
文献传递
PECVD淀积SiO_2的应用被引量：16
2008年
研究了PECVD腔内压力、淀积温度和淀积时间等工艺条件对SiO2薄膜的结构、淀积速率和抗腐蚀性等性能的影响。结果表明,利用剥离工艺,并采用AZ5214E光刻胶作为剥离掩模成功制作了约2μm厚的包裹在金属铝柱周围的SiO2隔热掩模。
吕文龙罗仲梓何熙张春权
关键词：PECVDSIO2
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共1页<1>
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