冯晓炜
- 作品数:8 被引量:14H指数:2
- 供职机构:景德镇陶瓷学院更多>>
- 发文基金:江西省教育厅科学技术研究项目江西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学机械工程化学工程文化科学更多>>
- 射频磁控溅射生长ZnO薄膜及性能研究被引量:7
- 2012年
- 采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底生长ZnO及ZnO∶Al薄膜,通过改变氩氧比、衬底温度和溅射功率获得样品。用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、扫描电子显微镜进行表征。结果发现:室温下40 W的溅射功率1 h的溅射时间,改变氩氧比获得样品。XRD图谱中无明显衍射峰出现;紫外可见光分光光度计测试结果显示400 nm波长以下,透光率在90%以上。说明薄膜生长呈无定形。衬底温度高于200℃样品,XRD有明显(002)衍射峰出现,在400~800 nm波长范围,透光率在88%以上,衬底温度300℃时,XRD衍射峰半高宽最小,晶粒尺寸大。TEM显示:衬底300℃晶粒尺寸最大,晶体发育好。在200℃掺铝ZnO薄膜,(002)峰不明显,有(101)峰出现。
- 朱华刘辉文况慧芸冯晓炜
- 关键词:ZNO薄膜透过率磁控溅射
- 线阵CCD在光学实验上的应用被引量:2
- 2011年
- 用CCD作光探测元件,采用典型AD12-2模数卡和计算机组成采集系统,能够实现自动采集光强数据,并用已知光谱线进行波长定标,来测定其他谱线的波长,实验快速、结果可靠。
- 朱华冯晓炜
- 关键词:CCD数据采集光波长
- 独立学院大学物理实验教学改革的探讨
- 2014年
- 阐述目前部分独立学院物理实验教学现状和改革背景,结合独立学院的现状和特点,提出了物理实验改革的构想和思路。
- 冯晓炜李建文
- 关键词:物理实验教学改革
- 衬底温度对硼掺杂ZnO薄膜微观结构及其光电特性的影响
- 2015年
- 采用射频磁控溅射技术,改变玻璃衬底温度制备B掺杂ZnO薄膜,薄膜的微结构及其光电性能分别用X-射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪及粗糙度测试仪进行表征。结果表明:ZnO∶B薄膜样品表面平整,具有六角纤锌矿结构并呈C轴择优取向。所有薄膜样品在420~900 nm区间内的平均透光率大于91%。随着温度的增加,电阻率先减小后增大,但晶粒尺寸一直变大。衬底温度为100℃时电阻率可低至1.14×10-3Ω·cm,所有样品禁带宽度相对于本征ZnO蓝移。
- 王何美朱华冯晓炜况慧芸王艳香
- 关键词:磁控溅射光电特性
- 氮流量对ZnO:N薄膜微结构及光学性能影响被引量:3
- 2012年
- 运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1~9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征。结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320~780 nm波长区间透射率变化小;随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降;当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化。
- 朱华况慧芸冯晓炜万文琼
- 关键词:透射率磁控溅射
- 氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响被引量:2
- 2013年
- 运用射频磁控溅射技术,改变氩氧流量比在玻璃衬底上生长ZnO∶Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计对薄膜微结构、厚度及其光学性能表征,结果发现:维持氩流量不变(9 sccm),随着氧流量增加(1~9 sccm),样品XRD峰强减小,半高宽增大,晶粒尺寸减小,薄膜结晶性能变差;而维持氧流量不变(9 sccm),氩流量减小(9~3 sccm),样品XRD峰强增大,半高宽减小,晶粒尺寸变大,结晶性能变好。紫外可见光光谱在400~900nm波长区间平均透射率差异大(67.9%~91.1%);在420~900 nm波长区间平均透光率高且差异小(90.2%~92.4%)。
- 朱华万文琼况慧芸冯晓炜
- 关键词:透射率磁控溅射
- 原材料和制备工艺对硅酸锌陶瓷微波介电性能的影响被引量:1
- 2012年
- 为了提高硅酸锌介质陶瓷的性能,研究了添加物、原材料和制备工艺对其微波介电性能的影响。采用固相法、并以去离子水代替乙醇作分散剂制备陶瓷粉料,闭腔法测量其无载Q值和频率温度系数。研究结果表明原材料的粒度、球磨工艺和烧结温度对Q.f值影响大,添加物TiO2不仅调节频率温度系数(τf),而且促进陶瓷烧结。当TiO2(wt%)12%,1240℃烧结时,获得优良的微波介电性能:介电常数(εr)为10.2,Q.f=91640GHz,τf=-5.78ppm/℃。并用该组成的材料制作了中心频率f0=5.4GHz,带宽Δf=96MHz,插损小于1.3dB的两级片式介质带通滤波器,可以用于通信系统。
- 曹良足冯晓炜徐琼琼李小红曹达明
- 关键词:低介电常数微波介质硅酸锌
- 工作压对射频磁控溅射ZAO薄膜微结构及光电性能影响的研究被引量:1
- 2013年
- 运用射频磁控溅射技术,改变工作压(3~10 Pa)在玻璃衬底上生长透明导电ZnO∶Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、霍尔效应测量仪及SEM对薄膜微结构、厚度及其光电性能表征。结果发现:随着工作压增大,样品XRD曲线由多峰转变为(002)单峰,峰强变大半高宽减小,晶粒尺寸由10.01 nm增大到13.46 nm,薄膜结晶性能变好;紫外可见光光谱在400~760 nm波长区间平均透射率均在85%以上,且在400 nm以下均有吸收边峰出现,样品带隙宽度随工作压增加有蓝移现象,样品厚度随工作压增加从1085 nm减小到781 nm。样品电阻率随工作压从3~6 Pa增加由0.5×10-4Ω·cm增大到35×10-4Ω·cm,在6~10 Pa区间有减小趋势。
- 朱华万文琼况慧芸冯晓炜
- 关键词:ZAO薄膜透射率电阻率