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向民

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇各向异性腐蚀
  • 1篇光开关
  • 1篇硅

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇向民
  • 1篇李铁
  • 1篇王跃林

传媒

  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种制作硅垂直光亮微镜面的方法
介绍了一种利用KOH溶液对硅的各向异性腐蚀原理,并结合抛光技术制作垂直的<100>光学微镜面的方法.制成的微镜高度300μm,厚度3.3μm,宽度容易控制.初步测试对1.55μm波长光源插入损耗接近1dB.
向民李铁王跃林
关键词：各向异性腐蚀抛光光开关
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