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张剑楠

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇形貌
  • 1篇氧化铟
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇ERF
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇张剑楠
  • 1篇范翊
  • 1篇刘星元
  • 1篇李颜涛

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型透明导电薄膜ErF_3掺杂In_2O_3的研制被引量：2
2012年
利用电子束沉积技术首次制备了氟化铒(ErF3)掺杂的氧化铟(In2O3)透明导电薄膜(IEFO),研究了薄膜的晶体结构、光学特性和电学特性。利用原子力显微镜测试了不同厚度薄膜的形貌,初步研究了薄膜的生长过程。研究发现:IEFO薄膜为多晶结构,Er原子的掺入改变了薄膜的优势生长方向,使薄膜在(211)、(222)、(444)3个方向上的生长趋势基本相同。薄膜电阻率为1.265×10-3Ω.cm,电子迁移率为45.76 cm2.V-1.s-1,电子浓度为1.197×1020cm-3,在380～780 nm范围内的可见光平均透过率为81%。
张剑楠李颜涛范翊刘星元
关键词：透明导电薄膜形貌氧化铟
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