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张志成

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：天津工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇重掺硅
  • 1篇重掺杂
  • 1篇硅单晶

机构

  • 1篇天津工业大学

作者

  • 1篇任丙彦
  • 1篇张志成
  • 1篇郝秋艳
  • 1篇王庆禄

传媒

  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
红外测量重掺硅中间隙氧含量
为研究重掺杂硅单晶中氧的行为，克服由于强烈自由载流子吸收的干扰所造成的红外测氧困难，该文首次采用低温４．２Ｋ、超薄样品的傅立叶变换红外吸收光谱法（ＦＴＩＲ）测得重掺杂硅单晶中间隙氧吸收峰，并借助轻掺杂样品的参比，对该条件...
任丙彦王庆禄张志成郝秋艳
关键词：重掺杂硅单晶
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