张聪旸
- 作品数：6 被引量：22H指数：2
- 供职机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 中频波面的旋转平移法干涉绝对检验被引量：2
- 2013年
- 基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验。本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验。将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分。与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1nm rms。在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量。采用改变伪剪切比和更换标准镜两种方案,分别实现了实验数据的自比对;将测试结果与经典三面互检法得到的水平和垂直方向的一维轮廓数据进行比对,验证了旋转平移法的准确性。
- 袁群高志山张聪旸成金龙朱波
- 关键词：干涉术波纹度平移
- 基于子曲面分割和迭代的自由曲面光线追迹方法被引量：1
- 2012年
- 根据光学自由曲面数学描述复杂,但面形较为平滑的特点,提出一种新的基于子曲面分割和迭代的自由曲面光线追迹方法。通过离散点分割形成子曲面阵列,根据三角形内角和定理确定目标子曲面,对目标子曲面进行切平面迭代完成光线追迹。通过数值仿真,采用所提方法分别对偶次非球面、双圆锥曲面、扩展多项式面和单透镜无像散系统进行光线追迹,并与ZEM-AX追迹结果进行比对。结果表明:该方法在离散点采样密度很低的情况下(降低了计算机的内存消耗和运算时间)仍然可以保证光线追迹的精确性,与ZEMAX中光线和自由曲面交点的偏差达到10-3(nm)量级,出射光线角度的偏差达到10-3(")量级。
- 朱进高志山袁群叶井飞张聪旸
- 关键词：光学自由曲面光线追迹迭代算法ZEMAX
- 基于旋转平移的干涉绝对检验
- 提出了一种旋转平移方法，实现平面和球面的干涉绝对检验。被测件面形被分解成旋转对称成分和旋转非对称成分。通过N次旋转被测件，求解面形中的旋转非对称成分；通过平移被测件实现伪剪切，求解面形中的旋转对称成分。与三面互检法相比，...
- 袁群高志山张聪旸成金龙朱波
- 关键词：平移
- 基于Zernike多项式和径向基函数的自由曲面重构方法被引量：18
- 2014年
- 对于梯度变化较大的光学自由曲面,采用模式化方法对光学面整体重构,其重构精度受到限制,无法满足要求,而且曲面局部特性无法精确表征。针对以上问题提出了基于Zernike多项式和径向基函数的自由曲面重构方法,提高自由曲面的重构精度。将整个自由曲面分解为多个圆形子区域,在各个圆形子域中采用Zernike多项式作为基函数进行曲面局部拟合,然后利用径向基函数形成整个自由曲面。通过数值实验对5种不同类型的曲面进行重构分析,实验结果表明,自由曲面重构精度优于纳米量级,验证了所提重构方法的适应性和高精度,在现代光学系统制造和检测中具有一定的应用前景,同时对自由曲面重构中的一些关键问题进行了讨论分析。
- 叶井飞高志山刘晓莉王伟张聪旸
- 关键词：光学设计光学自由曲面ZERNIKE多项式径向基函数曲面重构
- 双三角型多通道中波红外干涉检测装置
- 一种双三角型多通道中波红外干涉检测装置，包括4.4μm半导体激光器、第一反射镜、第二反射镜、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、离轴抛物面反射镜、光阑、成像透镜、中波红外探测器、第一折转反射镜、毛玻璃屏、第二折转反射镜、对点...
- 高志山袁群张聪旸
- 文献传递
- 双波长光干涉光学系统设计与移相仿真研究
- 光学干涉测试技术可以用于对光学元件面形、光学系统性能以及光学材料特性进行高精度测试，然而传统的单波长可见光移相干涉仪的测量范围受到其工作波长的制约，不能用于大面形偏差的面形测量，例如台阶面和非球面的面形检测。双波长移相干...
- 张聪旸
- 文献传递
