彭赛
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室更多>>
- 发文基金：深圳市水务发展中长期战略研究项目国家自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
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- 生长温度对立方MgZnO薄膜生长取向和紫外光吸收特性的影响
- 2014年
- 利用脉冲激光沉积技术在非晶石英衬底上制备立方结构MgZnO薄膜,并研究MgZnO薄膜结晶特性、光学带隙随生长温度的变化情况。当生长温度从150℃升高到700℃时,MgZnO薄膜的生长取向由(200)向(111)转变。在600℃以下,MgZnO薄膜光学带隙的变化规律与晶格中Mg和Zn原子比例的变化趋势是一致的;而当温度升至700℃时,虽然MgZnO晶格中Mg和Zn原子比例降低,但由于平均晶粒尺寸变大,薄膜的光学带隙反而上升。在300℃和700℃晶格匹配的情况下,获得了单一(200)和(111)取向的立方MgZnO薄膜。
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- 关键词：MGZNO脉冲激光沉积光学带隙生长温度
- 不同Ar/O_2气压比例条件下立方MgZnO薄膜生长特性及紫外光吸收特性
- 2014年
- 利用脉冲激光沉积技术在非晶石英衬底上制备了立方结构MgZnO薄膜,研究了在不同Ar/O2气压比例条件下,立方结构MgZnO薄膜的生长取向、光学带隙和Mg/Zn含量比例的变化规律。当固定氧气分压为2Pa、通过注入惰性的Ar气使生长气压从2 Pa升高到7 Pa时,MgZnO薄膜的生长取向由(200)向(111)转变。当生长气压从2 Pa升高到6 Pa时,MgZnO薄膜光学带隙变窄。而当生长气压从6 Pa升高到7 Pa时,MgZnO薄膜光学带隙反而变宽。通过XPS数据分析,不同生长气压下MgZnO薄膜光学带隙的变化规律与薄膜Mg/Zn含量比例的变化规律不一致,MgZnO薄膜中Mg和Zn与O的结合情况的变化对薄膜的光学带隙也有影响。
- 韩舜彭赛曹培江柳文军曾玉祥贾芳朱德亮吕有明
- 关键词：ZNOMGZNO脉冲激光沉积紫外探测器
