徐金明
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程领域前沿项目更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- AFM针尖压入测量中的非线性效应
- 2008年
- 根据AFM(Atomic-Force Microscope原子力显微镜)实验得到的典型压入曲线给出了一种标定电压-挠度转化系数的方法。对压入曲线进行常规的数据处理,结果显示在起始段和末段各有5nm左右的名义压入深度。然而,有限元计算结果表明上述名义压入深度并非真正的针尖压入样品的深度。通过悬臂梁响应、光线传播、四象限接收器等几个方面的非线性效应分析,得到了实验中各部分非线性效应对实验结果的影响方式和误差范围,从而发现压入实验中四象限接收器上光斑相对移动引起的非线性效应是造成错误判读压入深度的重要原因。最后,对如何减小测量误差和如何在一定误差范围内得到可靠的实验结果给出了一些建议。
- 徐金明白以龙
- 关键词：AFM
- 原子力显微镜形貌测量偏差的机理分析及修正方法被引量：4
- 2011年
- 采用原子力显微镜测量样品表面形貌时,针尖与样品间的相互作用力会使样品表面不同力学性质的区域变形量不同,从而使得形貌测量结果产生偏差.首先研究了引起形貌测量偏差的机理,进一步通过数值计算发现通过引入高频信号与低频信号叠加作为新的形貌测量信号可以近似避免这一类形貌测量偏差.但是对于普通的矩形截面悬臂梁提取高阶信号是比较困难的,通过外加弹簧的结构设计来调节悬臂梁各阶本征频率相对值,使得在实验测量过程中可以较方便地提取悬臂梁振动的高频信号.
- 徐金明白以龙
- 关键词：AFM高频信号
