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忻尚衡

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电路
  • 1篇预抽真空
  • 1篇真空
  • 1篇浅结
  • 1篇集成电路
  • 1篇高频加热
  • 1篇半导体
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇传动
  • 1篇磁力
  • 1篇磁力传动
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇忻尚衡
  • 1篇李晓明
  • 1篇史常忻

年份

  • 1篇1988
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体密封磁力传动快速退火装置
半导体密封磁力传动快速退火装置，属于半导体器件制造的工艺技术。采用高频加热石墨板来对半导体材料进行退火，特点是采用全密封系统，退火前可预抽真空，采用磁力传动来驱动加工样品。经本装置退火的半导体材料具有电激活率高，杂质再分...
史常忻忻尚衡李晓明
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