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杨立新
作品数:
6
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈长清
中国科学院上海冶金研究所上海微...
陈学良
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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中国科学院上海冶金研究所上海微...
沈德芳
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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1997
共
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PECVD制备光致可发绿光的α—SiC:H薄膜
1997年
利用等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)方法,以硅烷和乙烯为反应气体源在适当淀积条件下制备出在紫外光激发下可发绿光(光致发光谱峰值波长约为532nm)的高品质α-SiC:H薄膜。本文主要报道该发光薄膜的红餐吸收谱(FTIR)、紫外及可见光透射谱一光学带隙、光致发光谱、电子自旋共振(ESR)和电学性能的测试结果并进行讨论。
陈长清
杨立新
关键词:
半导体材料
PECVD法
光盘光学拾音器技术的现状与发展
1997年
阐述了光盘的光学聚焦伺服、循迹伺服和光信息拾取原理,介绍了由分立元件、全息光学元件、光电混合集成和单片集成等所构成多种光学拾音器的结构。
杨立新
陈长清
杨易
陈学良
沈德芳
陈国明
关键词:
全息光学元件
CD
LD
VCD
C^+注入硅形成β-SiC埋层研究
被引量:5
1997年
在200℃和680℃下对P型(100)单晶硅进行不同剂量的C+注入,实验表明680℃下注入形成的β-SiC埋层存在<100>取向生长的结晶态,经过1160℃氮气氛4小时或8小时退火后,结晶度得到进一步增强;200℃下注入形成的β-SiC埋层为无定形态,即使经过1160℃氮气氛4小时或8小时退火之后仍没有发现结晶态衍射峰存在.研究同时揭示了不同C+注入剂量对所形成β-SiC埋层结晶程度的影响,以及不同退火工艺对于样品制备的影响.通过AES成分深度测试及剖面透射电子显微镜(XTEM)可以直观分析β-SiC埋层的内在结构.
陈长清
杨立新
严金龙
陈学良
关键词:
碳化硅
埋层
混合型集成光学拾音器的结构设计
被引量:1
2000年
采用光学追踪法计算了圆锥光线入射到棱镜中的轨迹 ,并对计算结果进行了实验验证 ,实验结果与计算结果相一致 。
杨立新
李东宏
陈学良
卢志红
杨易
沈德芳
陈国明
关键词:
混合型
利用离子束技术及PECVD制备碳化硅
被引量:5
1998年
阐述利用离子注入、离子束增强沉积、反应离子束溅射及反应离子束辅助沉积等方法制备碳化硅薄膜的实验结果,并报道利用等离子体增强化学气相沉积技术制备可光致发光的非晶态α-SiC:H薄膜的工作。
陈长清
任琮欣
杨立新
杨立新
严金龙
郑志宏
周祖尧
柳襄怀
陈平
关键词:
离子束增强沉积
晶态
碳化硅
PECVD
NiO/NiFe/Cu/NiFe自旋阀中巨磁电阻效应的各向异性
被引量:1
1999年
用射频磁控溅射的方法制备自旋阀NiO/NiFe/Cu/NiFe,通过改变外磁场、电流以及钉扎层易轴间的相对取向,研究自旋阀中的磁电阻与三者相对取向间的关系。结果表明,在自旋阀中磁电阻效应具有各向异性的特点。各向异性的起因在于磁性材料的磁各向异性和磁性材料中电子散射的各向异性。
梅雪飞
熊锐
周正国
卢志红
杨立新
关键词:
各向异性
自旋阀
巨磁电阻效应
磁性材料
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