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汪力
作品数:
3
被引量:15
H指数:2
供职机构:
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
王旭迪
合肥工业大学机械与汽车工程学院
胡焕林
合肥工业大学机械与汽车工程学院
张永胜
合肥工业大学机械与汽车工程学院
陈长琦
合肥工业大学机械与汽车工程学院
王艳
合肥工业大学机械与汽车工程学院
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3篇
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2篇
电子电信
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理学
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刻蚀
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石英
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微结构
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纳米
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纳米压印
1篇
刻蚀速率
1篇
干法刻蚀
1篇
高宽比
1篇
CF
1篇
CHF
机构
3篇
合肥工业大学
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合肥电力规划...
作者
3篇
汪力
3篇
王旭迪
2篇
胡焕林
1篇
王艳
1篇
张永胜
1篇
陈长琦
1篇
黄长杰
传媒
3篇
真空
年份
1篇
2005
1篇
2004
1篇
2003
共
3
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软刻蚀技术及其应用
被引量:7
2003年
软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,作为非光刻微米和纳米量级微加工方法,加工的分辨率可以达到5nm100μm,它克服了传统光刻技术的缺陷,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供了简便、有效的低成本途径。本文将主要介绍微接触印刷、近场光刻蚀、纳米压印等软刻蚀方法的原理、方法以及面临的问题,并简介了它们在微米和纳米加工、微电子学、材料科学、光学、微电子机械系统、表面化学等方面应用。
陈长琦
王艳
王旭迪
汪力
关键词:
纳米压印
深高宽比微结构的干法刻蚀
被引量:8
2004年
介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。
王旭迪
张永胜
胡焕林
汪力
关键词:
微结构
干法刻蚀
CF_4/CHF_3反应刻蚀石英和BK7玻璃
2005年
用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK 7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比。在1 CF4∶1CHF3的等离子体中由于与光刻胶良好的刻蚀选择比,在石英基片上获得了侧壁陡直的槽形。用光学表面轮廓仪观测的结果表明偏压的增加和过高的气体流量易使基片表面质量下降。
黄长杰
王旭迪
汪力
胡焕林
关键词:
石英
刻蚀速率
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