章安辉
- 作品数：16 被引量：15H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺机械工程更多>>
- 用体式显微镜研究SiC单晶中的微管缺陷
- 2009年
- 用拉曼光谱、X射线双晶衍射仪以及体式显微镜,对升华法生长的6H-SiC单晶品质、SiC单晶中的微管缺陷进行表征。通过对SiC单晶腐蚀前后的微管数目比较发现,微管尺寸和其所形成的腐蚀坑大小并不是呈线性关系,腐蚀前后用体式显微镜观察到的微管数目大致相等。从实验数据发现,微管的尺寸有最小值,这给SiC微管密度分布,提供了一种无损检测方法。
- 李劼章安辉何秀坤曹全喜秦涛
- 关键词：微管SIC计数
- 紫外光激发下砷化镓表面特性研究
- 任殿胜马农农李雨辰何友琴章安辉
- 研究了砷化镓晶片在自然氧化条件下的表面特性，探讨了自然氧化层形成的反应机理和动力学过程，开展了紫外光激发下砷化镓表面氧化反应的研究，通过与砷化镓晶片表面的自然氧化层特性的对比，弄清了紫外光激发下氧化反应的机理，建立了反应...
- 关键词：
- 关键词：紫外光砷化镓
- 弹簧钩断裂失效分析被引量：3
- 2012年
- 弹簧在使用过程中,要承受交变应力的作用,故而对材料疲劳强度有着很高的要求。不当的热处理和加工工艺会严重降低弹簧的疲劳强度,从而使弹簧过早地产生疲劳断裂失效。本文使用扫描电子显微镜对弹簧断口进行观察分析,找出断裂原因,为改进工艺提供依据。
- 章安辉王泽林华
- 关键词：弹簧钢扫描电子显微镜
- 碳化硅单晶微管道缺陷研究
- SiC晶体被称为第三代宽禁带半导体材料，具有宽带隙，高击穿电场，高饱和电子漂移速度和高导热性，是制作高温度，高功率，高频率和低损耗器件的良好材料。微管道是目前影响SiC晶体材料质量重要缺陷，因此SiC晶体微管道的测量和表...
- 章安辉
- 关键词：碳化硅单晶晶体生长密度测量
- 文献传递
- 弹簧钩断裂失效分析
- 弹簧在使用过程中,要承受交变应力的作用,故而对材料疲劳强度有着很高的要求.不当的热处理和加工工艺会严重降低弹簧的疲劳强度,从而使弹簧过早地产生疲劳断裂失效.
- 章安辉王泽
- 关键词：弹簧钢金相组织
- 文献传递
- 碳化硅单晶微管道缺陷测试研究被引量：2
- 2011年
- 本文着重研究了SiC晶体微管道测量的两种方法,即KOH腐蚀法和不腐蚀测试法,并对方法及其测量结果进行比较分析,实现对SiC单晶微管道缺陷这一表征SiC单晶质量的重要参数的快速准确的测量。
- 章安辉李劼
- 关键词：SIC微管道伯格斯矢量
- 无氧铜密封件漏气原因的金相显微分析被引量：2
- 2010年
- 用于电真空器件密封用的无氧铜在使用中漏气,利用金相显微技术对不同氧含量的无氧铜进行对比分析,发现:无氧铜中氧含量偏高,出现"氢病",造成微裂纹,导致无氧铜在使用过程中出现漏气。
- 丁丽章安辉李宝珠周智惠刘立娜
- 关键词：无氧铜微裂纹
- 大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法
- 大尺寸砷化镓单晶结构的缺陷检测方法，包括研磨，抛光：机械抛光或化学抛光，采用化学抛光液配方为硫酸∶双氧水∶水＝3∶1∶1；位错腐蚀，将氢氧化钾放在银坩埚内加热，使氢氧化钾熔化加热至澄清状态时即放入晶片试样进行腐蚀，然后取...
- 周智慧章安辉王香泉
- 文献传递
- Si_3N_4钝化层质量分析研究被引量：1
- 2009年
- 采用扫描电镜(SEM)、X光电子能谱仪(XPS)、二次离子质谱仪(SIMS)等多种微分析手段对失效器件芯片表面生成物产生原因进行了分析,同时结合器件制备工艺和器件可靠性实验分析了Si3N4钝化层质量与工艺的关系。通过大量分析实验,确定了器件失效的重要原因是Si3N4钝化层存在缺陷而导致器件因表面漏电而失效。实验结果表明,将Si3N4钝化层中SiOx含量控制在10%以下,器件管壳内水分控制在1%以下,器件经过1 000 h电老化后芯片表面无生成物产生。
- 丁丽严如岳何秀坤李宝珠李雨辰何友琴马农农章安辉刘立娜
- 关键词：氮化硅钝化层生成物
- 掺V6H-SiC单晶生长表面V析出相研究
- 2011年
- 采用扫描电镜(SEM)和光学显微镜(OM)观察物理气相传输(PVT)法生长掺V6H-SiC单晶新鲜表面时,发现具有特定形状的析出相,经SEM能谱(EDX)测试确定析出相的主要成分是V,推断其在单晶生长结束后的降温过程中产生。通过对V析出相的进一步研究发现其在数量、尺寸以及方向上都与单晶生长中心具有一定的关系,具有特定的分布规律,任何一个视场,析出相的取向只有两种,且数量相当,这一结果说明结晶动力学对V的掺入具有一定的影响;当结晶温度较高时,这种影响不明显,但随着结晶区温度的降低,影响加剧,从而出现析出相,且析出相的结晶行为完全受晶体表面形貌的制约。
- 洪颖郝建民冯玢王香泉章安辉
- 关键词：6H-SIC
