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肖斌平

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：北京大学物理学院重离子物理教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇TCO
  • 1篇TEM
  • 1篇超导
  • 1篇超导转变
  • 1篇超导转变温度
  • 1篇NBN

机构

  • 1篇北京大学

作者

  • 1篇肖斌平
  • 1篇郝建奎
  • 1篇彭松
  • 1篇谢大弢

传媒

  • 1篇光谱学与光谱...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
NbN薄膜的制备与性能研究被引量：3
2005年
采用磁控溅射和直流偏压二极溅射两种方法制备了NbN薄膜。用XRD和TEM测量比较了两种不同溅射方法获得的NbN薄膜的特点,并测量了NbN薄膜的超导转变温度Tc。采用两种溅射方法都得到了致密、均匀、单一δ相的多晶NbN薄膜,薄膜生长的择优取向受温度和氮气流量的影响很大,薄膜的超导转变温度受溅射室本底真空影响较大。
彭松肖斌平郝建奎谢大弢
关键词：性能研究超导转变温度薄膜生长TEMTCO
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