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薛玉茹
作品数:
15
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供职机构:
中国科学院
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相关领域:
一般工业技术
机械工程
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合作作者
王光玉
中国科学院
张振厚
中国科学院
张利国
中国科学院
郭丽娟
中国科学院
孔祥玲
中国科学院
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张振厚
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王光玉
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张利国
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孔祥玲
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刘在行
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秦柏林
1篇
张健
1篇
赵洪吉
1篇
房伟
1篇
刘坤
1篇
郭俊辉
年份
8篇
2011
3篇
2010
2篇
2008
1篇
2007
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一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源
本实用新型公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25KV,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高...
薛玉茹
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多级干式真空泵人机操作装置
本实用新型涉及一种多级干式真空泵人机操作装置,包括单片机、电流驱动模块、显示屏,通讯模块以及键盘,其中单片机为控制核心,通过通讯模块接收各干式真空泵的运行参数和运行状态,输出至显示屏对各干式真空泵的运行参数和运行状态进行...
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
张振厚
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真空泵用屏蔽电机
本发明公开一种真空泵用屏蔽电机,包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板,所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体,并在内部形成一个密闭腔,电机定子设置在所述密闭腔内,电机转子热胀装配于主动轴上,所述密闭腔与电机转子均处于真空腔...
张振厚
王光玉
孔祥玲
薛玉茹
反射式高能电子衍射仪用电子枪电源
本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高压部...
薛玉茹
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多级干式真空泵触摸屏控制装置
本实用新型涉及一种多级干式真空泵触摸屏控制装置,包括:液晶屏驱动模组、显示屏、电源转换模块、通讯模块、触摸屏驱动模块以及触摸屏,其中液晶屏驱动模组通过触摸屏驱动模块接收触摸屏的输入信号,液晶屏驱动模组的输出信号送至显示屏...
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
张振厚
文献传递
真空泵用屏蔽电机
本实用新型公开一种真空泵用屏蔽电机,包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板,所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体,并在内部形成一个密闭腔,电机定子设置在所述密闭腔内,电机转子热胀装配于主动轴上,所述密闭腔与电机转子均处于真...
张振厚
王光玉
孔祥玲
薛玉茹
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涡旋干式真空泵
张振厚
王光玉
秦柏林
孔祥玲
郭丽娟
刘在行
张利国
薛玉茹
涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备,是生产半导体器件、集成电路、电子元件、电真空器件以及电子设备整机装备的专用设备,彻底解决了真空仪器设备的油污染问题,已成为世界上发展最快的泵种之一。国内市场...
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真空泵
集成电路用真空机组控制装置
本发明涉及一种集成电路用真空机组控制装置,具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机...
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
张振厚
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罗茨干泵(机组)
张振厚
王光玉
秦柏林
张利国
薛玉茹
刘坤
张健
赵洪吉
刘在行
郭丽娟
郭俊辉
房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备,由于技术门槛高,国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额,国内产品在工程化应用方面尚属于空白。 罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为: ...
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反射式高能电子衍射仪用电子枪电源
本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高压部...
薛玉茹
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