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薛玉茹

作品数:15 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院更多>>
相关领域:一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 12篇专利
  • 2篇科技成果
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 7篇真空泵
  • 4篇数字量
  • 4篇数字量输入
  • 4篇字量
  • 4篇控制装置
  • 4篇干式真空泵
  • 3篇电流
  • 3篇电流取样
  • 3篇电子枪
  • 3篇电子枪灯丝
  • 3篇整流
  • 3篇偏转板
  • 3篇两极性
  • 3篇开关
  • 3篇开关量
  • 3篇高压测量
  • 3篇倍压
  • 3篇倍压整流
  • 2篇电机
  • 2篇电路

机构

  • 15篇中国科学院

作者

  • 15篇薛玉茹
  • 11篇张振厚
  • 11篇王光玉
  • 8篇郭丽娟
  • 8篇张利国
  • 4篇孔祥玲
  • 2篇刘在行
  • 2篇秦柏林
  • 1篇刘汉林
  • 1篇张健
  • 1篇赵洪吉
  • 1篇房伟
  • 1篇刘坤
  • 1篇郭俊辉

传媒

  • 1篇现代科学仪器

年份

  • 8篇2011
  • 3篇2010
  • 2篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇1994
15 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源
本实用新型公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25KV,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高...
薛玉茹
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多级干式真空泵人机操作装置
本实用新型涉及一种多级干式真空泵人机操作装置,包括单片机、电流驱动模块、显示屏,通讯模块以及键盘,其中单片机为控制核心,通过通讯模块接收各干式真空泵的运行参数和运行状态,输出至显示屏对各干式真空泵的运行参数和运行状态进行...
张利国郭丽娟薛玉茹王光玉张振厚
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真空泵用屏蔽电机
本发明公开一种真空泵用屏蔽电机,包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板,所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体,并在内部形成一个密闭腔,电机定子设置在所述密闭腔内,电机转子热胀装配于主动轴上,所述密闭腔与电机转子均处于真空腔...
张振厚王光玉孔祥玲薛玉茹
反射式高能电子衍射仪用电子枪电源
本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高压部...
薛玉茹
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多级干式真空泵触摸屏控制装置
本实用新型涉及一种多级干式真空泵触摸屏控制装置,包括:液晶屏驱动模组、显示屏、电源转换模块、通讯模块、触摸屏驱动模块以及触摸屏,其中液晶屏驱动模组通过触摸屏驱动模块接收触摸屏的输入信号,液晶屏驱动模组的输出信号送至显示屏...
张利国郭丽娟薛玉茹王光玉张振厚
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真空泵用屏蔽电机
本实用新型公开一种真空泵用屏蔽电机,包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板,所述屏蔽罩、电机壳、端板焊接为一个整体,并在内部形成一个密闭腔,电机定子设置在所述密闭腔内,电机转子热胀装配于主动轴上,所述密闭腔与电机转子均处于真...
张振厚王光玉孔祥玲薛玉茹
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涡旋干式真空泵
张振厚王光玉秦柏林孔祥玲郭丽娟刘在行张利国薛玉茹
涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备,是生产半导体器件、集成电路、电子元件、电真空器件以及电子设备整机装备的专用设备,彻底解决了真空仪器设备的油污染问题,已成为世界上发展最快的泵种之一。国内市场...
关键词:
关键词:真空泵
集成电路用真空机组控制装置
本发明涉及一种集成电路用真空机组控制装置,具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机...
张利国郭丽娟薛玉茹王光玉张振厚
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罗茨干泵(机组)
张振厚王光玉秦柏林张利国薛玉茹刘坤张健赵洪吉刘在行郭丽娟郭俊辉房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备,由于技术门槛高,国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额,国内产品在工程化应用方面尚属于空白。  罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为: ...
关键词:
反射式高能电子衍射仪用电子枪电源
本发明公开一种反射式高能电子衍射仪用电子枪电源,其中高压电源为-25kv,由高压部分、低压调整两部分组成,高压部分的谐振电路输出经10倍压整流滤波产生-25KV高压接至电子枪灯丝和栅极上;其低压调整部分中由调整管接高压部...
薛玉茹
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共2页<12>
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