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袁泉

作品数：28 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 12篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 19篇谐振器
  • 11篇模态
  • 6篇动态电阻
  • 6篇射频
  • 5篇电极
  • 5篇谐振结构
  • 5篇锚点
  • 5篇封装
  • 5篇RF-MEM...
  • 4篇射频器件
  • 4篇频率可调
  • 4篇可调
  • 4篇差分驱动
  • 3篇弹性波
  • 3篇多边形
  • 3篇多频
  • 3篇多频带
  • 3篇圆片
  • 3篇振动
  • 3篇频带

机构

  • 28篇中国科学院
  • 1篇北京信息科技...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 28篇袁泉
  • 28篇杨晋玲
  • 27篇杨富华
  • 6篇赵晖
  • 6篇骆伟
  • 1篇张晓青
  • 1篇赵继聪

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2024
  • 3篇2023
  • 1篇2022
  • 11篇2021
  • 4篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2013
共 28 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微纳射频器件及其制备方法
一种微纳射频器件及制备方法，方法包括：在SOI片上生长隔离层；图形化隔离层，以在SOI片上形成谐振单元、电极引线、信号屏蔽层及封装环；在谐振单元的侧壁生长微纳级间隔层；去除电极引线、信号屏蔽层及封装环表面的隔离层，在SO...
陈泽基杨晋玲袁泉刘文立杨富华
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阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器
本发明公开了一种阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器，包括：配置为工作在平面剪切模态下的谐振单元，该谐振单元的顶角处的振动幅度最大，且边缘处具有位移节点，与配置为工作在长度拉伸模态的耦合梁，共同组成阵列式谐振结构；支撑梁...
陈泽基阚枭王天昀袁泉杨晋玲杨富华
基于模态重分布的MEMS谐振器及其调节方法
本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器，包括：衬底；支撑结构，一端固定在所述衬底上；谐振单元，设有调整装置，所述谐振单元与支撑结构的另一端相连；电极，与所述谐振单元电连接，所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面...
贾倩倩杨晋玲袁泉陈泽基刘文立杨富华
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基于电化学腐蚀的MEMS谐振器频率修调方法
一种基于电化学腐蚀的MEMS谐振器频率修调方法，该方法包括将MEMS谐振器与金属电极相连后放入电解质溶液中，其中，金属电极与MEMS谐振器的谐振单元在电解质溶液中形成原电池，使谐振单元发生电化学腐蚀反应形成多孔结构，从而...
王天昀杨晋玲陈泽基贾倩倩袁泉杨富华
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基于体声波振动模态耦合的RF-MEMS谐振器
一种基于体声波振动模态耦合的RF‑MEMS谐振器，包括：工作在体声波振动模态下的环状谐振单元、工作在长度拉伸模态下，与谐振单元振动频率一致的耦合梁、可配置在单路和/或差分模式下的驱动/检测电极、电极与谐振单元之间的换能介...
王天昀陈泽基阚枭袁泉杨晋玲杨富华
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频率可调的MEMS滤波器
一种频率可调的MEMS滤波器，包括：多个谐振单元，该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑；多个耦合梁，该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元；多个电极，该多个电极位于谐振单元的周围，与谐振单元之间有一间隙。...
骆伟袁泉赵晖杨晋玲杨富华
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频率可调的MEMS谐振器
一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各...
骆伟赵晖袁泉杨晋玲杨富华
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多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用
一种多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用，该多梁结构组合的射频微机电系统谐振器包括机电转换梁单元，其为所述谐振器输入端和输出端的换能组件；能量传输梁，其为所述机电转换梁单元的连接结构；电极，其为施加驱动激励；介质层，...
陈泽基王天昀阚枭袁泉杨晋玲杨富华
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基于压阻检测的谐振器单元及系统
本公开提供一种基于压阻检测的谐振器单元，包括：谐振体；电极，设置于所述谐振体外围，通过机电转换介质层与所述谐振体相隔；多个压力敏感电阻，分别对称设置于所述谐振体边缘应力最大处的上表面；以及支撑梁，一端对应所述压力敏感电阻...
刘文立杨晋玲袁泉陈泽基杨富华
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一种封装结构及其应用
一种封装结构，包括：封装盖片，配置为覆盖欲封装的器件；封装环，设置在封装盖片欲进行封装的一侧，用于实现欲封装的器件的气密性封装；平面引线和/或垂直引线，用于实现欲封装的器件内外电学互连：当设置平面引线时，平面引线设置在封...
赵继聪袁泉杨晋玲杨富华
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