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贾晓辉

作品数：18 被引量：1H指数：1
供职机构：天津大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺天文地球更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 6篇自动化与计算...
  • 1篇天文地球
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 16篇压电陶瓷驱动
  • 16篇压电陶瓷驱动...
  • 16篇驱动器
  • 15篇压印光刻
  • 15篇纳米压印
  • 15篇光刻
  • 14篇纳米压印光刻
  • 13篇精密定位工作...
  • 10篇动态响应速度
  • 8篇球形接头
  • 4篇弹性铰链
  • 4篇三自由度
  • 4篇微定位
  • 4篇微定位工作台
  • 4篇铰链
  • 4篇光刻系统
  • 4篇并联
  • 3篇纳米
  • 2篇导电片
  • 2篇动平台

机构

  • 18篇天津大学

作者

  • 18篇贾晓辉
  • 16篇田延岭
  • 16篇张大卫
  • 2篇田佳

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2012
  • 6篇2011
  • 8篇2010
  • 1篇2009
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于纳米压印光刻系统的六自由度精密定位工作台
本发明公开了用于纳米压印光刻系统的六自由度精密定位工作台，其中空间柔性机构包括预紧机构、三个第一位移传感器和三个第一压电陶瓷驱动器，预紧机构包括与刚性环相连的弹性预紧环、底座、立柱、三个底部弹性铰链和第一位移传感器，压电...
田延岭贾晓辉张大卫
文献传递
面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法与实验
本文以用于纳米压印光刻技术的精密定位工作台的开发为目标,深入系统地研究了一种具有3平动自由度的空间柔性并联定位机构的创新结构设计、运动学分析、刚度分析、静动力学分析、误差建模等关键技术,并建造了由压电陶瓷驱动器驱动的精密...
贾晓辉
关键词：压印光刻运动学建模静刚度分析精密定位工作台
用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台
本发明公开了用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台，它包括六个压电陶瓷驱动器，每个驱动器与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头。它还包括柔性机构六个结构完全一致的柔性支链及其支撑的动平台，三个位置传感器用来测量动平台的...
田延岭贾晓辉张大卫
文献传递
用于纳米压印光刻系统的两平动一转动精密定位工作台
本发明的用于纳米压印光刻系统的两平动一转动精密定位工作台，它包括支架和底座，在底座中间通过四个柔性驱动机构连接有动平台，柔性驱动机构包括刚性移动块，在刚性移动块的前部分的左右侧壁上分别开有第一和第二组半圆凹槽形成依次串联...
田延岭贾晓辉张大卫
用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台
本发明公开了用于纳米压印光刻系统的三自由度微定位工作台，它包括六个压电陶瓷驱动器，每个驱动器与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头。它还包括柔性机构六个结构完全一致的柔性支链及其支撑的动平台，三个位置传感器用来测量动平台的...
田延岭贾晓辉张大卫
文献传递
水平井油水两相流相含率测井资料解释方法研究
针对水平井油水两相流流量剖面测井问题，本文采用大庆油田伞集流油水两相流生产测井组合仪器，在大庆油田多相流模拟井开展了水平油水两相流动态测量实验，测取了伞集流条件下水平油水两相流电容及电导波动信号。在此基础上，着重对水平井...
贾晓辉
关键词：水平井软测量技术免疫算法
文献传递
用于纳米压印光刻系统的两平动一转动精密定位工作台
本发明的用于纳米压印光刻系统的两平动一转动精密定位工作台，它包括支架和底座，在底座中间通过四个柔性驱动机构连接有动平台，柔性驱动机构包括刚性移动块，在刚性移动块的前部分的左右侧壁上分别开有第一和第二组半圆凹槽形成依次串联...
田延岭贾晓辉张大卫
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二自由度柔性微定位工作台
本发明公开了二自由度柔性微定位工作台，包括二自由度柔性微定位工作台柔性机构及整体结构的设计，结构中采用两个压电陶瓷驱动器，每个驱动器尾部通过螺栓与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头，实现赫兹接触。定位工作台的柔性机构主要...
田延岭贾晓辉张大卫
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二自由度精密定位工作台
本发明公开了二自由度精密定位工作台，它包括基座、动平台、连接在基座底部的刚性支架以及连接在动平台和基座之间的四个柔性支链，每一柔性支链包括一个移动块和三组柔性板簧结构，每一柔性板簧结构均由二个一字形柔性板簧构成，其中第一...
田延岭贾晓辉张大卫
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3T1R四自由度精密定位工作台
本发明公开了一种3T1R四自由度精密定位工作台，包括动平台、柔性末端支撑架、四个柔性支链、底座和四个压电陶瓷驱动器；所述柔性末端支撑架呈“工”字形，位于四个所述柔性支链的顶端与所述动平台之间；所述动平台固定在所述刚性支撑...
田延岭贾晓辉张大卫田佳
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