邵宏伟
- 作品数：35 被引量：51H指数：5
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>
- 单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法被引量：2
- 2006年
- 介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差,分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法,如Heydemann方法、频谱分析方法、基于干涉信号波峰和波谷的方法、基于神经网络的NN方法.在基于干涉信号波峰和波谷的方法的基础上,提出了一种改良方法(P方法),试验结果表明,P方法具有运算简单、误差修正精度高和抗干扰性能较强等优点,可以在非计量环境下用该法对干涉仪的非线性误差进行修正,实用价值较大.
- 高宏堂高思田邵宏伟
- 关键词：计量学单频激光干涉仪
- X射线衍射仪角度校准的光学新方法被引量：2
- 2014年
- 目前X射线衍射仪(XRD)的角度检定和校准测试主要依据JJG 629—1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400—2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够精确得到θ和2θ轴的误差数据,可用于修正XRD测角误差,提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.
- 崔建军高思田邵宏伟杜华王鹤岩
- 关键词：计量学X射线衍射
- 计量型原子力显微镜纳米测量系统
- 高思田叶孝佑邵宏伟杜华金其海
- 计量型原子力显微镜属于被测物移动型AFM，它的计量化是由一体化三维激光干涉系统实现的。它由三台微型平面麦克尔逊干涉仪构成，固接在原子力显微镜上。干涉仪的分辨率均为0.1nm，可同时测出测量台与扫描部件的静止部分间在AFM...
- 关键词：
- 关键词：原子力显微镜
- 单频纳米激光干涉仪非线性误差及其修正方法
- 介绍了单频纳米激光干涉仪的非线性误差,分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法,如Heydemann方法、频谱分析方法、基于干涉信号波峰和波谷的方法、基于神经网络的NN方法.在基于干涉信号波峰和波谷的方法的基础上...
- 高宏堂高思田邵宏伟
- 关键词：单频激光干涉仪
- 文献传递
- 纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对被引量：2
- 2008年
- 对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究，并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对。比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能，能够用于纳米光栅栅距的检定校准。
- 高思田邵宏伟王春艳
- 关键词：计量学光栅
- 在线平面度测量仪被引量：2
- 2006年
- 传统上使用自准直仪、水平仪、电子水平仪和样板尺等来测量水平安放的标准平板和工件的平面度.但对于竖直的平面,如采用自准直仪、样板尺等,测量将十分繁杂,效率相当低下.激光跟踪仪可以测量任意方向平面的平面度误差,其精度完全能满足工程测量要求,但价格贵,对环境要求高,需要二人以上才能测量.测量效率虽高于传统的平面度测量方法,但不能满足工厂生产线上在线快速测量的要求.现已研发了3 m×2 m大平面平面度全自动测量仪,通过49支大行程电感传感器测量被测面上49点的空间位置尺寸,通过计算机得到被测面的平面度和它的三维形貌图.其主要技术参数为:测量面积为3 m×2 m,平面度测量范围为±10 mm,测量不确定度为0.1mm,测量周期＜15 s.
- 邵宏伟张旭东郑庆国邹玲丁党爱华沈雪萍
- 关键词：计量学平面度测量不确定度电感传感器激光跟踪仪
- 一等大量块(125～1000mm)检定装置被引量：1
- 2004年
- 量块的测量是长度计量的重要基础。文中的装置采用了高精度的633nm碘稳频氦氖激光器和543nm热稳频氦氖激光器各一台,分别将不同波长的激光光束入射到典型的迈克尔逊干涉仪中,使放置在测量光路中的量块与平晶研合在一起的组合体和参考镜进行干涉,利用CCD摄像机获取干涉图像,同时测量量块温度及空气折射率(或环境参数),一同输入计算机中进行处理计算得到测量结果。对于125～1000mm量块的测量难点是保证温度要稳定、均匀、偏离20℃的范围要小。为此,设计了可高精度控温的仪器箱,可调节温度到17～23℃,温度变化率小于0.01℃ h,从而实现量块线膨胀系数的测量。该装置的量块长度测量不确定度达到U99=0.02μm+0.2×10-6L,量块线膨胀系数测量的不确定度可达U99=0.2×10-6℃-1。
- 邵宏伟刘香斌王雁党爱华吴月艳
- 关键词：计量学小数重合法
- 在线平面度测量仪
- 传统上使用自准直仪、水平仪、电子水平仪和样板尺等来测量水平安放的标准平板和工件的平面度.但对于竖直的平面,如采用自准直仪、样板尺等,测量将十分繁杂,效率相当低下.激光跟踪仪可以测量任意方向平面的平面度误差,其精度完全能满...
- 邵宏伟张旭东郑庆国邹玲丁党爱华沈雪萍
- 关键词：平面度测量不确定度电感传感器激光跟踪仪
- 文献传递
- 标准HSK工具圆锥量规测量装置的研制
- 提出一种标准HSK工具圆锥量规测量的新方法，统一各生产与使用单位的HSK工具圆锥量规量值，并朔源HSK工具圆锥量测量规至国家角度基准。
- 邵宏伟张恒黄扬来展
- 关键词：不确定度圆锥量规
- 文献传递
- 纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对
- 对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于...
- 高思田邵宏伟王春艳
- 关键词：检定校准
- 文献传递
