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郑文汀
作品数:
4
被引量:9
H指数:1
供职机构:
福州大学物理与信息工程学院
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
程树英
福州大学物理与信息工程学院电子...
林秀芬
福州大学
林永耀
中山大学物理科学与工程技术学院...
戴德星
福州大学物理与信息工程学院物理...
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程树英
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林秀芬
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年份
1篇
1998
1篇
1994
1篇
1993
1篇
1991
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组合式金合金圆平面磁控靶的设计
被引量:1
1998年
首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进,设计一个靶材利用率高的纯金靶.利用金合金的色区图,计算沉积不同K值和颜色的镀金膜时,组合式K金靶上金、银、铜的面积比,从而在纯金靶上固定相应面积的扇形银片和铜片,研制出不同K值和色度的组合式金合金靶.
程树英
郑文汀
施金凿
关键词:
磁控溅射
金合金
磁控反应溅射SnO_2薄膜的气敏特性
被引量:8
1993年
报导了对圆形平面靶直流磁控反应溅射生成的SnO_2薄膜的实验测试和对实验结果的分析。研究结果表明,SnO_2薄膜对一些有毒气体或可燃性气体有强的气敏效应和良好的选择性。对SnO_2薄膜的掺杂可大大改变气敏元件的灵敏度、选择性和工作温度。本文还对其工作机理进行探讨及提出可能的解释。
林秀芬
郑文汀
林永耀
关键词:
SNO2薄膜
灵敏度
塑料卷镀吸附机理探讨
1994年
本文用表面能、界面能来说明真空蒸镀薄膜与基材的吸附机理。如薄膜与基材间的界面能越低,说明其键合越强,附着越牢固。基材表面事先经离子轰击或等离子处理形成的结构缺陷,将有利于降低界面能,增强附着力。
郑文汀
程树英
关键词:
镀膜
膜层厚度分布与蒸发源相对位置的设计探讨
1991年
本文用计算机对三台国产镀膜机的膜厚分布进行计算,分析了膜厚均匀产生的主要原因;提出了利用计算机帮助寻找蒸发源的最佳排列,以获得在所要求的基材宽度内的最佳膜厚分布。讨论了真空度对膜厚分布的影响,并提出了膜厚分布的修正公式。
郑文汀
戴德星
关键词:
镀膜机
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