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陈涌海
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118
被引量:32
H指数:3
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中国科学院半导体研究所
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王占国
南开大学泰达应用物理学院弱光非...
杨少延
中国科学院半导体研究所
叶小玲
中国科学院半导体研究所
刘雨
中国科学院半导体研究所
刘志凯
中国科学院半导体研究所
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一种生长可控量子点和量子环的方法
本发明公开了一种生长可控量子点和量子环的方法,该方法包括:制备μm量级的包含有条形区域、方孔区域和圆孔区域的光刻板;对该光刻板图形衬底进行普通光刻;湿法腐蚀制备图形衬底;采用一定的生长条件和沉积量的分子束外延MBE生长方...
赵暕
陈涌海
王占国
徐波
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利用可协变衬底制备生长氧化锌薄膜材料的方法
一种制备氧化锌薄膜材料的方法,特别是指一种利用SOI可协变衬底,采用磁控溅射设备制备生长氧化锌薄膜材料的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:选用顶部具有超薄硅单晶层的SOI材料作为硅基可协变衬底;步骤2:将溅射靶材装...
杨少延
陈涌海
李成明
范海波
王占国
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具光磁性质含MnInAs/GaAs量子点样品的结构及制备方法
本发明一种具光磁性质含MnInAs/GaAs量子点样品的结构,包括:一衬底;一缓冲层,该缓冲层沉积在衬底,它可以有效地阻止衬底中的位错可能延伸到外延层中来;一绝缘层,该绝缘层沉积在缓冲层上;一量子点注入层,该量子点注入层...
胡良均
陈涌海
叶小玲
王占国
文献传递
一种制备金属铪薄膜材料的方法
本发明提供一种制备金属铪薄膜材料的方法。利用具有质量分离功能与荷能离子沉积特点的双离子束外延生长设备,以纯度要求不高的低成本氯化铪为原材料,在用单束同位素纯低能氩离子轰击溅射清洗过的洁净衬底上,先用产生的同位素纯低能金属...
杨少延
柴春林
刘志凯
陈涌海
陈诺夫
王占国
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圆偏振光探测方法、装置、电子设备及存储介质
本公开提供了一种圆偏振光探测方法,应用于光探测技术领域,包括:获取不同外加偏压下探测器探测到的左圆偏振光电流和右圆偏振光电流,计算在每个该外加偏压下该左圆偏振光电流和该右圆偏振光电流的平均值,基于每个该外加偏压下的该左圆...
吴静
陈涌海
曾晓琳
赵成城
黄建亮
张艳华
马文全
砷化镓基量子级联激光器研究取得重要进展
2005年
陈涌海
关键词:
量子级联激光器
砷化镓
量子限制效应
粒子数反转
耦合量子阱
电子跃迁
离子束外延技术与新材料研究
介绍了离子束外延(Ion-Beam Epitaxy,IBE)技术的工作原理、工艺特点以及设备的发展概况。重点阐述了IBE新材料应用研究的国内外发展现状,包括元素半导体薄膜、宽带隙化合物半导体薄膜、磁性半导体薄膜、稀土氧化...
杨少延
柴春林
刘志凯
陈涌海
陈诺夫
王占国
文献传递
高纯外延GaAs中浅施主杂质的光热电离谱研究
1997年
利用光热电离谱技术研究了4.5K下高纯n-GaAs外延材料的远红外光电导响应借.给出CPE法和VPE法生长的高纯GaAs材料残留浅施主杂质分别是S、Sn和Sn、P等杂质.实验结果表明本所高纯GaAs组采用的LPE生长技术能有效抑制杂质St和Sn的沾污.
钱家骏
陈涌海
孙明方
王占国
林兰英
关键词:
砷化镓
测量半导体材料表面微结构缺陷的显微成像装置和方法
本发明公开了一种测量半导体材料表面微结构缺陷的显微成像装置和方法。所述测试装置包括:光源、偏振调制反射差分系统、分光棱镜、扫描平台、共聚焦显微系统、信号采集系统。根据光弹性效应原理以及晶体缺陷理论可知,半导体材料表面的微...
黄威
陈涌海
刘雨
高寒松
李远
邬庆
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在图形化的半导体衬底上制作有序半导体纳米结构的方法
本发明公开了一种在图形化的半导体衬底上制作有序半导体纳米结构的方法,包括:步骤1:选择半导体衬底,通过光刻方法在衬底上制作出条形或圆孔图形;步骤2:配置含有胶体金的溶液;步骤3:将制作出条形或圆孔图形的衬底浸入配置的含有...
陈涌海
刘建庆
高云
徐波
张兴旺
王占国
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