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马宏骥

作品数:5 被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院高能物理研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇科技成果
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇射线
  • 2篇薄膜生长
  • 2篇X射线
  • 1篇多层膜
  • 1篇软X射线
  • 1篇散射
  • 1篇射线衍射
  • 1篇能谱
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体结构
  • 1篇晶体结构分析
  • 1篇俄歇电子
  • 1篇俄歇电子能谱
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇MO/SI
  • 1篇O
  • 1篇X

机构

  • 5篇中国科学院
  • 1篇北京科技大学

作者

  • 5篇马宏骥
  • 5篇姜晓明
  • 2篇贾全杰
  • 2篇冼鼎昌
  • 1篇方正知
  • 1篇蒋最敏
  • 1篇王佩璇
  • 1篇崔明启
  • 1篇何伟
  • 1篇修立松
  • 1篇王凤平
  • 1篇王洲光
  • 1篇郑文莉

传媒

  • 1篇金属学报
  • 1篇电子显微学报
  • 1篇1996年中...

年份

  • 2篇2002
  • 3篇1997
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
Mo/SiO_2软X射线多层膜反射镜的界面分析被引量:1
1997年
用X射线衍射的动力学理论对磁控溅射法制备的Mo/SiO2多层膜低角X射线衍射谱进行拟合,定量分析了膜层的周期结构和界面粗糙度.同时,用Auger电子能谱证实了多层膜成分的周期性以及比较明晰的层界面随样品厚度的增加,界面粗糙度增加.
王凤平王佩璇方正知崔明启姜晓明马宏骥
关键词:多层膜俄歇电子能谱
同步辐射X射线高分辨粉末衍射技术及其应用
姜晓明施国顺贾全杰何伟马宏骥陈德峰
通过系统的探索和科学研究,从获得高分辨、高准确衍射数据的目的出发,对同步辐射光源的光强稳定性、光斑位置稳定性提出了切实的改进要求,并对装置作了相应的改进,改善了光源的稳定性(强度与位置),这是建立高分辨衍射的基础,这一工...
关键词:
关键词:晶体结构分析
d掺杂Si半导体微结构的同步辐射研究
姜晓明蒋最敏贾全杰郑文莉修立松马宏骥胡冬枝朱海军王洲光
利用同步辐射X射线反射实验技术,测量、研究了Sb原子和Er原子在分子束外延过程中的偏析行为。结果表明在较低温度下Sb原子仍有较强的表面偏析,利用杂质原子高的覆盖度将引起表面结构的变化、从而引起表面偏析能的改变解释了这一表...
关键词:
薄膜生长的 X 射线非镜面散射研究
1997年
利用X射线非镜面散射方法,分析了不同氩气压下磁控溅射制备的Mo薄膜的微结构。实验与模拟计算表明:随着氩气压的增加,非晶层的密度减小,薄膜的表面粗糙度增大,相干长度减小。这一结果与异常辉光放电的溅射模型相符合。
马宏骥姜晓明冼鼎昌
关键词:薄膜生长X射线散射
薄膜生长的X射线非镜面散射研究
利用 X 射线非镜面散射方法,分析了不同氩气压下磁控溅射制备的 Mo 薄膜的微结构。实验与模拟计算表明:随着氩气压的增加,非晶层的密度减小,薄膜的表面粗糙度增大,相干长度减小。这一结果与异常辉光放电的溅射模型相符合。
马宏骥姜晓明冼鼎昌
文献传递
共1页<1>
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