高孝裕
- 作品数：31 被引量：32H指数：4
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电气工程电子电信一般工业技术更多>>
- 基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法
- 一种微电子技术领域的基于微机电系统的射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对清洗干净的玻璃衬底进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准-LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶...
- 周勇王西宁赵小林曹莹高孝裕
- 文献传递
- 微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究被引量：2
- 2004年
- 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜微桥的杨氏模量及残余应力,其值分别为190.5GPa和146MPa,与应用纳米压痕仪直接测得的带有Si基底的Ni膜杨氏模量186.8±7.34GPa相吻合。
- 周勇王明军杨春生陈吉安王莉丁桂甫张亚民高孝裕张泰华
- 关键词：MEMS技术力学性能
- FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB薄膜各层宽度对其巨磁阻抗效应的影响
- 2005年
- 采用射频磁控溅射方法,利用微细加工工艺制备了不同薄膜宽度的三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了薄膜宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响。结果表明,三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应随薄膜宽度的变化具有显著的影响,当FeCuNbCrSiB层、Cu层宽度分别取1.6mm、0.8mm时,GMI%达到最大值-21.22645%。
- 张亚民陈吉安周勇丁文王明军高孝裕周志敏
- 关键词：巨磁阻抗
- FeCuNbCrSiB薄膜的制备及其巨磁阻抗效应研究被引量：1
- 2005年
- 采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了非晶的Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9薄膜及三明治结构M/C/M(M为Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9;C为Cu)的多层膜.在频率(1～40)MHz下,研究了薄膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系.结果表明:单层膜的GMI效应较小,只有4.4%;而三明治结构多层膜的GMI效应,比单层膜有较大幅度的提高,在5MHz、120Oe下,纵向和横向GMI效应分别达-17.4%和-20.7%.薄膜材料的纵向GMI效应随外加磁场变化呈现先增后减,而横向GMI效应随外加磁场的增加而单调递减,其变化规律与薄膜的易轴取向有很大关系.
- 张亚民陈吉安周勇丁文王明军高孝裕
- 关键词：电子技术巨磁阻抗效应
- 空芯结构射频螺线管微电感
- 一种微电子技术领域的空芯结构射频螺线管微电感，由衬底、引脚、螺线管线圈和平面波导线组成，螺线管线圈位于衬底上，其周围为平面波导线，螺线管线圈由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，螺线管线圈的两端连接引脚，螺线管线圈的...
- 周勇王西宁赵小林曹莹高孝裕
- 文献传递
- Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜巨磁阻抗效应的影响
- 2005年
- 采用射频磁控溅射方法和微细加工工艺制备了不同Cu层宽度的弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗率随Cu层宽度的变化具有显著的变化,在频率10MHz、磁场12kA/m下,当Cu层宽度为0.4mm时,纵向、横向巨磁阻抗率分别达-57%、-65%.
- 张亚民陈吉安周勇丁文王明军高孝裕周志敏
- 关键词：巨磁阻抗
- FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究
- 研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz～40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示).当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随...
- 周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应磁各向异性磁场
- 文献传递
- 软磁多层膜力敏传感器及其制备方法
- 本发明提供一种软磁多层膜力敏传感器及其制备方法，传感器中曲折型的软磁多层膜力敏器件由中间铜导电层、铜导电层外围包裹的软磁薄膜及软磁薄膜上的顶层保护层构成三明治结构，引脚从铜导电层引出，整个力敏器件位于硅悬臂梁上，硅悬臂梁...
- 周勇陈吉安丁文张亚民高孝裕
- 文献传递
- FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究
- 研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应（其大小用磁阻抗比表示）。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随...
- 周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应磁各向异性
- 文献传递
- 空芯结构射频螺线管微电感的制作方法
- 一种微电子技术领域的空芯结构射频螺线管微电感的制作方法，采用微机电系统技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准－LIGA技术和厚光刻胶工艺制备线圈和连接导体的光刻胶模具；采用电...
- 周勇王西宁赵小林曹莹高孝裕
- 文献传递
