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俞海明

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学微电子中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇集成传感器
  • 2篇PH-ISF...
  • 1篇电路
  • 1篇电路工艺
  • 1篇压力传感器
  • 1篇气敏
  • 1篇气敏传感器
  • 1篇气敏器件
  • 1篇力传感器
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路工艺
  • 1篇硅膜
  • 1篇PH值
  • 1篇MOS
  • 1篇MOS系统
  • 1篇测量系统
  • 1篇PH

机构

  • 3篇东南大学

作者

  • 3篇丁辛芳
  • 3篇俞海明

传媒

  • 2篇第二届全国敏...
  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇1994
  • 2篇1991
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
pH-ISFET和pH/压力集成传感器的研究
丁辛芳俞海明相喜根
关键词：PH值硅膜集成电路工艺
集成MOS气敏传感器的研究
丁辛芳俞海明金恒
关键词：气敏器件MOS系统测量系统
集成pH－ISFET／压力传感器的研究
1994年
基于ＳＤＢ／ＳＯＩ材料和硅微机械加工技术，提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线ＰＨ－ＩＳＦＥＴ／压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统，以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离，又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。
丁辛芳俞海明
关键词：PH-ISFET集成传感器压力传感器
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共1页<1>
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