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刘立建

作品数：2 被引量：21H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇离子束
  • 2篇聚焦离子束
  • 2篇FIB
  • 1篇电路
  • 1篇电子领域
  • 1篇电阻率
  • 1篇淀积
  • 1篇淀积速率
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子领域
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇集成电路

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇刘立建
  • 1篇谢进
  • 1篇王家楫

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
聚焦离子束(FIB)淀积Pt薄膜技术研究
该文对利用聚焦离子束分解(C<,5>H<,4>)CH<,3>Pt(Ch<,3>)<,3>气体分子淀积Pt薄膜的过程和淀积的薄膜的性质进行了研究,并对该薄膜的淀积速率、淀积产额、电阻率和组分与淀积过程所使用的离子束流大小的...
刘立建
关键词：聚焦离子束淀积速率电阻率
文献传递
聚焦离子束(FIB)技术及其在微电子领域中的应用被引量：21
2001年
ＦＩＢ是一种将微分析和微加工相结合的新技术，在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术及其分析、加工的机理和性能作一介绍，并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。
刘立建谢进王家楫
关键词：集成电路微细加工聚焦离子束微电子
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