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刘立建
作品数:
2
被引量:19
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
王家楫
复旦大学
谢进
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刘立建
1篇
谢进
1篇
王家楫
传媒
1篇
半导体技术
年份
2篇
2001
共
2
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聚焦离子束(FIB)淀积Pt薄膜技术研究
该文对利用聚焦离子束分解(C<,5>H<,4>)CH<,3>Pt(Ch<,3>)<,3>气体分子淀积Pt薄膜的过程和淀积的薄膜的性质进行了研究,并对该薄膜的淀积速率、淀积产额、电阻率和组分与淀积过程所使用的离子束流大小的...
刘立建
关键词:
聚焦离子束
淀积速率
电阻率
文献传递
聚焦离子束(FIB)技术及其在微电子领域中的应用
被引量:19
2001年
FIB是一种将微分析和微加工相结合的新技术,在亚微米级器件的设计、工艺控制和失效分析等诸多领域发挥着非常重要的作用。本文将对聚焦离子束技术及其分析、加工的机理和性能作一介绍,并对该技术在微电子领域中的应用及发展作一综述。
刘立建
谢进
王家楫
关键词:
集成电路
微细加工
聚焦离子束
微电子
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