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占瞻

作品数：40 被引量：8H指数：1
供职机构：厦门大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金中国航空科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程

主题

  • 10篇键合
  • 9篇金属
  • 8篇微器件
  • 8篇封装
  • 6篇电极
  • 6篇阳极键合
  • 6篇硅片
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇电纺
  • 5篇压力传感器
  • 5篇力传感器
  • 5篇纳米
  • 5篇互联
  • 4篇压电
  • 4篇圆片
  • 4篇圆片级
  • 4篇圆片级封装
  • 4篇湿法腐蚀

机构

  • 40篇厦门大学

作者

  • 40篇占瞻
  • 38篇孙道恒
  • 33篇王凌云
  • 26篇杜晓辉
  • 15篇何杰
  • 9篇周如海
  • 8篇吕文龙
  • 8篇苏源哲
  • 6篇李益盼
  • 6篇王小萍
  • 6篇左文佳
  • 5篇蔡建法
  • 4篇吴德志
  • 4篇邱小椿
  • 4篇刘益芳
  • 3篇张豪尔
  • 2篇蔡建发
  • 2篇郑建毅
  • 2篇郑高峰
  • 2篇李威

传媒

  • 2篇厦门大学学报...
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2019
  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 10篇2015
  • 4篇2014
  • 12篇2013
  • 6篇2012
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法
一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法，涉及微惯性器件。提供简单、可保证电学特性且成本低的一种具有高深宽比梳齿间隙硅微惯性器件的制备方法。加工梳状结构的硅微惯性器件半成品主体结构；加工与硅微惯性器件半成品主体结构...
孙道恒杜晓辉占瞻何杰周如海蔡建法王凌云
文献传递
一种非接触式玻璃微纳结构加工方法
一种非接触式玻璃微纳结构加工方法，涉及一种制备微纳结构的方法。将玻璃片置于Z轴移动平台上，与电源负极连接，导电材料置于玻璃片之上，固定于X‑Y平面移动平台，且与电源正极连接；启动加热装置，调节导电材料与玻璃片之间的距离，...
王凌云杨秉臻占瞻吴珍孙道恒
文献传递
一种水平阵列碳纳米管的制备方法
一种水平阵列碳纳米管的制备方法，涉及一种碳纳米管的制备方法。提供一种基于近场静电纺丝直写催化剂纳米线的一种水平阵列碳纳米管的制备方法。1）将Fe、Mo、Co、Ni、Cu和Cr中的至少一种金属氯化物的乙醇溶液与聚合物溶液混...
孙道恒何杰吴德志占瞻杜晓辉王凌云周如海王小萍
文献传递
一种用于制备大厚度MEMS结构层的浓硼掺杂方法(英文)
2013年
在MEMS器件中,浓硼掺杂层通常为器件的结构层.但由于受表面固溶度及浓度梯度影响,该掺杂层(硼原子浓度≥5×1019cm-3)厚度越大所需的扩散时间越长.为了能在同等扩散工艺条件下,制备出更厚的浓硼掺杂层以满足器件要求,提出了多步扩散法.即在保证总的累计扩散时间不变的前提下,将传统的扩散过程分为两个相对短的扩散周期.并且这两个周期连续进行,每个周期各包含一次预扩散和再分布.与传统的两步扩散相比,多步扩散法可为硅基底引入更大量的硼杂质,并且具有一定能力使硼杂质留在一定深度范围内.因此该方法可以获得更大的有效节深.实验中采用该方法成功制备出21μm厚的浓硼掺杂层.然而在文献中提到的采用传统两步法在同样条件下得到的厚度则小于15μm.从而验证了该方法可在同等扩散工艺条件下,可以制备出更厚的浓硼掺杂层.
孙道恒张豪尔占瞻何杰杜晓辉王凌云
一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法
一种基于熔融玻璃骨架的三维通孔互联结构制作方法，涉及硅通孔互联技术。在硅层上刻蚀出沟槽，形成硅柱；将带有图案的丝网版与硅层刻蚀后的图案对准；将玻璃粉置于丝网版上，在竖直方向挤压使玻璃粉填充沟槽，移走丝网版；去除硅柱顶部表...
孙道恒占瞻周如海李益盼蔡建发陈梦月王凌云
文献传递
一种应用于微机电系统器件的真空封装方法
一种应用于微机电系统器件的真空封装方法，涉及一种微器件真空封装方法。在玻璃片背面上加工出凹槽、通孔，然后在凹槽上溅射吸气剂薄膜；在SOI或SOG片上加工出梯形槽、谐振结构和微流道；将玻璃片与SOI或SOG片键合在一起形成...
孙道恒何杰占瞻杜晓辉邱小椿李益盼刘益芳王凌云
文献传递
一种电烙铁智能调温断电保护装置
一种电烙铁智能调温断电保护装置，涉及一种电烙铁。设有控制模块、传感器、显示模块、蜂鸣器、开关按钮和功率及温度控制模块；所述传感器的输出端接控制模块的输入端，开关按钮与控制模块连接，控制模块的输出端分别与显示模块的输入端、...
王凌云杜晓辉左文佳占瞻苏源哲吕文龙孙道恒
文献传递
一种重掺杂硼硅片的再分布方法
一种重掺杂硼硅片的再分布方法，涉及一种重掺杂硼硅片。将重掺杂硼硅片放在托盘上，然后置于石英腔体中，关闭屏蔽箱门，旋转压紧密封机构；将石英腔体抽真空，通过气体进口和气体出口，对石英腔体内通入再分布所需气体；开启电源，通过电...
王凌云王申张豪尔杜晓辉蔡建法占瞻孙道恒
文献传递
一种应用于微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法
一种应用于微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法，涉及微器件封装工艺。提供基于气浮沉积技术，可实现各种形状通孔互联的一种适用于微机电系统中微器件圆片级封装通孔金属互联的制作方法，所述适用于微机电系统中微器件圆片级封装通孔...
孙道恒占瞻虞凌科杜晓辉王小萍何杰王凌云
文献传递
一种基于纳米压电纤维的压力传感器
一种基于纳米压电纤维的压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种灵敏度较高的基于纳米压电纤维的压力传感器。设有硅基底、硼掺杂层、二氧化硅薄膜、金属电极和PVDF纳米压电纤维；所述硼掺杂层设于硅基底的上表面，硼掺杂层与硅基底...
王凌云苏源哲杜晓辉占瞻孙道恒
文献传递
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