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吴艳苹

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：西南交通大学材料科学与工程学院材料先进技术教育部重点实验室更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”表面物理与化学国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体氮化
  • 1篇偏压
  • 1篇结合力
  • 1篇工业纯
  • 1篇工业纯铁
  • 1篇非平衡磁控溅...
  • 1篇纯铁
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西南交通大学

作者

  • 1篇吴艳苹
  • 1篇孙鸿
  • 1篇黄楠
  • 1篇冷永祥
  • 1篇陈畅子

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
工业纯铁等离子体氮化及Ti/TiN多层薄膜沉积复合处理研究被引量：5
2009年
为改善工业纯铁的耐磨抗腐蚀性能,本文采用低偏压高频等离子浸没离子注入及氮化技术(HLPⅢ)对工业纯铁进行表面改性,然后利用非平衡磁控溅射技术(UBMS)在低压高频等离子浸没离子注入及氮化处理样品表面制备Ti/TiN多层膜。研究发现,工业纯铁在3.5kV脉冲电压(频率15.15kHz,占空比25%)下等离子注入及氮化3h后,表面形成了深度达4μm的氮化层,其相结构以ε-Fe3N和γ-Fe4N结构为主。等离子氮化及Ti/TiN多层薄膜沉积复合处理后,工业纯铁的硬度、耐磨损性能以及抗腐蚀性能均得到大大提高,等离子注入及氮化形成的氮化层有利于提高Ti/TiN多层薄膜与工业纯铁基体之间的结合力和耐磨性。
陈畅子孙鸿吴艳苹白彬张鹏程冷永祥黄楠
关键词：非平衡磁控溅射氮化钛结合力
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