孙福楠
- 作品数：86 被引量：131H指数：6
- 供职机构：中昊光明化工研究设计院有限公司更多>>
- 发文基金：国家科技型中小企业技术创新基金“八五”国家科技攻关计划科技型中小企业技术创新基金更多>>
- 相关领域：化学工程经济管理文化科学电子电信更多>>
- 2011中国电子气体
- 对2011年中国气体进行了回顾，介绍了几种重要气体的国内外技术与市场情况，预测未来中国气体的发展走向。
- 孙福楠
- 关键词：高纯气体标准气体氯化氢乙硼烷电子气体特种气体
- 微电子工业用超高纯丙烷的工业化生产
- 高纯丙烷是用途十分广泛的气体，它既是配气生产中的重要组分气，也是光电子元件重要的掺“碳” 源料。因此随着中国光电子产业的发展，高纯丙烷的需求量将不断扩大。前不久，笔者接到一份合同：一次需求50kg高纯丙烷，纯度要求99....
- 吴江红来庆福陈丽孙福楠
- 关键词：微电子工业光电子元件产品质量
- 文献传递
- 生产二氯二氢硅的催化剂研究现状
- 1996年
- 概述了二氯二氢硅生产用的各种催化剂的性能。
- 孙福楠
- 关键词：二氯二氢硅催化剂歧化反应
- 中国气体的现状与发展
- 本文对当下中国气体尤其是电子气体的市场运营情况、包装气瓶、气体检测仪器等技术进行了详细的介绍,指出中国气体未来发展的方向，为中国的高科技发展与进步提供更高质量的产品与服务.
- 孙福楠于大秋任越丛林韩薇柳蔚刘晓红
- 文献传递
- 中国电子气体的现状及发展走向
- 中国的IC制造商一直渴望国内开展电子气体的研究与生产，以解决IC生产的“源”的问题，从根本上解除以IC制造业的后顾之忧，打通兆位级集成电路和ULSI级集成电路发展的“瓶颈”问题。光电子、微电子制造过程包括外延、成膜、掺杂...
- 孙福楠韩美陈晓惠王秋娥林刚田波梁玉
- 关键词：电子气体集成电路
- 文献传递
- 瓶装三氟化硼的大规模生产被引量：6
- 2004年
- 介绍了我国BF3科研、生产的历史与现状,综合介绍了BF3的各种生产工艺及其相关的物性。
- 孙福楠
- 关键词：三氟化硼纯化硼化物氟化物贮藏
- 再谈我国标准气体被引量：2
- 2006年
- 详细介绍了我国标准气体制备过程中存在的诸多问题,对如何解决这些问题提出了具体方案。中国标准气体行业自改革开放以来,发展极为迅猛,从业人数不断增加,为了缩短我国标准气体同发达国家的差距,广大特种气体工作者应从理论到实际,认真把握标准气体制备过程中的每个环节,使我国标准气体质量发生质的飞跃。
- 孙福楠王秋娥吴江红
- 关键词：标准气体
- 电子工业用气体 三氯化硼
- 本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼,主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。分子式： BC13...
- 孙福楠方华庄鸿涛周鹏云
- 关键词：气体三氯化硼电子工业氯化物电子材料
- 文献传递
- 半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
- 2009年
- 在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统上采用酸、碱、氧化剂的湿法工艺,存在许多弊病,近年来,剧毒气体干法解毒技术发展迅猛。本文介绍了该技术的原理,希望国产解毒装置能适应IC发展需求。
- 孙福楠吴江红柳蔚李英辉于大秋冯庆祥
- 关键词：半导体SIH4PH3干法解毒
- 电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料被引量：2
- 2008年
- 分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。
- 孙福楠吴江红冯庆祥
- 关键词：电子气体硅烷
