宋震煜
- 作品数:5 被引量:7H指数:1
- 供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 纳米梁非线性振动的动力学分析被引量:7
- 2006年
- 当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时,实验表明在外部激励的作用下,器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素,利用连续体弹性理论建立了物理模型,并利用该模型分析了纳米梁的幅频特性和纳米梁非线性产生的物理机制。分析结果与已有的实验报道结果相符。
- 宋震煜于虹
- 关键词:纳机电系统连续体非线性模型阻尼
- 纳米梁的动态特性研究
- 根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有的谐振梁振动的非线性模型作了修正。
- 宋震煜于虹黄庆安
- 关键词:纳机电系统非线性
- 文献传递
- 纳米梁的非线性行为研究及单晶硅纳米薄膜杨氏模量的分子动力学模拟
- 随着微加工工艺的不断进步,微电子机械器件的尺寸进一步缩小至亚微米甚至纳米尺度已成为现实,从而使得研究进入了全新的NEMS领域。然而研究NEMS的理论不能像制作工艺一样依托于分析MEMS的宏观线性理论,尺寸的减小,比表面积...
- 宋震煜
- 关键词:纳机电系统非线性模型分子动力学模拟微加工工艺
- 文献传递
- 纳米梁的动态特性研究
- 2005年
- 根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有的谐振梁振动的非线性模型作了修正.
- 宋震煜于虹黄庆安
- 关键词:纳机电系统非线性
- 纳米梁的动态特性研究
- 本文根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有的谐振梁振动的非线性模型作了修正.
- 宋震煜于虹黄庆安
- 关键词:非线性
- 文献传递