尹大勇
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：北京卫星环境工程研究所更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- AFM针尖磨损机理研究进展被引量：3
- 2008年
- 在分析了原子力显微镜(AFM)探针在测量及加工领域应用过程中,探针磨损对于实验结果的影响的基础上,综述了Si3N4针尖、金刚石针尖和单晶硅针尖的磨损机理。并展望了探针磨损机理的发展趋势。
- 闫永达尹大勇费维栋孙涛董申
- 关键词：针尖磨损
- SPM微悬臂弹性常数校准技术被引量：1
- 2009年
- 综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂。但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合。目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%～5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力。
- 闫永达尹大勇孙涛费维栋董申
- 关键词：扫描探针显微镜微悬臂校准
