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张文彪
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东华工程科技股份有限公司
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相关领域:
化学工程
一般工业技术
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合作作者
李全伟
东华工程科技股份有限公司
胡文生
东华工程科技股份有限公司
刘洪涛
东华工程科技股份有限公司
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作者
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低压合成法制备三氯氢硅工艺概述
被引量:1
2013年
当前,90%以上的多晶硅制备工艺使用改良西门子法,这种工艺仍在发展完善中,在未来相当长的时间内还将占据主流地位。三氯氢硅(SiHCl3,英文缩写为TCS)是该工艺的一个重要原料,其制备工艺也得到了很大的发展,出现了3种不同的工艺方法:硅(Si)和氯化氢(HCl)的低压合成法、四氯化硅(SiCl4,英文缩写为STC)氢化转化法和二氯二氢硅(SiH2Cl2,英文缩写为DCS)转化法。
张文彪
关键词:
三氯氢硅
硅工艺
合成法
低压
英文缩写
二氯二氢硅
一种节能压缩制冷方法
本发明公开了一种节能压缩制冷方法,气态制冷剂经三段压缩和冷却后再去防喘振回路的优化设计保证压缩机功耗较低,制冷剂储罐并入压缩制冷系统提高压缩制冷回路的稳定性,制冷剂蒸发排放系统较传统的动力输送方式大大提高操作的便捷性。
张文彪
李全伟
胡文生
刘洪涛
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一种节能压缩制冷方法
本发明公开了一种节能压缩制冷方法,气态制冷剂经三段压缩和冷却后再去防喘振回路的优化设计保证压缩机功耗较低,制冷剂储罐并入压缩制冷系统提高压缩制冷回路的稳定性,制冷剂蒸发排放系统较传统的动力输送方式大大提高操作的便捷性。
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