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张雪珍
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供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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合作作者
陈伯良
中国科学院上海技术物理研究所
朱建妹
中国科学院上海技术物理研究所
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张雪珍
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1篇
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压敏粘结剂在焦平面器件铟珠制备中剥离多余铟层的用途
本发明公开了一种压敏粘结剂在焦平面阵列器件铟珠阵列制备中多余铟层的黏附剥离用途及使用方法。所说的压敏粘结剂是一种丙烯酸酯类有机合成高分子粘结剂。本发明的最大优点是利用普通硅集成电路工艺条件,可在半导体芯片表面上生成高密度...
朱建妹
陈伯良
张雪珍
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压敏粘结剂在焦平面器件铟珠制备中剥离多余铟层的用途
本发明公开了一种压敏粘结剂在焦平面阵列器件铟珠陈列制备中多余铟层的黏附剥离用途及使用方法。所说的压敏粘结剂是一种丙烯酸酯类有机合成高分子粘结剂。本发明的最大优点是利用普通硅集成电路工艺条件,可在半导体芯片表面上生成高密度...
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