徐峥谊
- 作品数：13 被引量：16H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法
- 一种结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法，属于微机械领域，其特点是从单晶硅片的正面和反面同时进行腐蚀，在热堆背面得到一个与红外吸收区大小相仿的窗口，通过此窗口的对准作用，在氮气氛下蒸发黑体，使黑体沉积在热堆...
- 徐峥谊熊斌王翊王跃林
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- 结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法
- 一种结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法,属于微机械领域,其特点是从单晶硅片的正面和反面同时进行腐蚀,在热堆背面得到一个与红外吸收区大小相仿的窗口,通过此窗口的对准作用,在氮气氛下蒸发黑体,使黑体沉积在热堆...
- 徐峥谊熊斌王翊王跃林
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- 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
- 徐峥谊熊斌王跃林
- 该发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体成45度角，周围被气氛介质包围，一端固支，另一端与基体两点相连。他可分为分立型和单腐蚀孔型两种，前者是独立的腐蚀孔结构，腐...
- 关键词：
- 关键词：红外探测器热电堆非制冷
- 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
- 本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体呈45度角，周围被气氛介质包围，一端固支，另一端与基体两点相连。它又可分为分立型和单腐蚀孔型二种，前者是独立的腐蚀孔结构，...
- 徐峥谊熊斌王跃林
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- 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
- 本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体呈45度角,周围被气氛介质包围,一端固支,另一端与基体两点相连。它又可分为分立型和单腐蚀孔型二种,前者是独立的腐蚀孔结构,...
- 徐峥谊熊斌王跃林
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- 自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器
- 本发明涉及一种自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的微机械热电堆红外探测器,属于红外探测领域。最为关键的工艺是采用自对准腐蚀技术,制造出周围用空气层减小热耗散、增加热阻的栅状热偶对悬臂结构,不仅简化了微机械热电堆红外探测器...
- 徐峥谊熊斌王跃林
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- 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列(中科院)
- 徐峥谊熊斌王跃林
- 本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体成45度角，周围被气氛介质包围，一端固支，另一端与基体两点相连。他可分为分立型和单腐蚀孔型两种，前者是独立的腐蚀孔结构，腐...
- 关键词：
- 关键词：红外探测器热电堆非制冷
- 微机械热电堆红外探测器的制造方法
- 一种微机械热电堆红外探测器的制造方法，最为关键的工艺是采用正面光刻技术，制造出周围用空气层减小热耗散的悬臂结构，且应用绝缘体上单晶硅材料，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来的...
- 熊斌徐峥谊王跃林王渭源戈肖鸿
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- 微机械热电堆红外探测器的制造方法
- 一种微机械热电堆红外探测器的制造方法,最为关键的工艺是采用正面光刻技术,制造出周围用空气层减小热耗散的悬臂结构,且应用绝缘体上单晶硅材料,不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺,提高了热电转换效率,而且也使制造出来的...
- 熊斌徐峥谊王跃林王渭源戈肖鸿
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- 微机械热电堆红外探测器
- 该论文以微机械热电堆红外探测器为研究对象,从理论与工艺两方面进行了探索.理论上,在稳态热传导泊松方程等基础上,以悬臂梁结构与封闭膜结构为切入点,建立了探测器中结构与性能的联系;另外,系统地阐述了薄膜、吸收区、热偶以及封装...
- 徐峥谊
- 关键词：微电子机械系统热电堆热偶红外探测器悬臂梁
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