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徐强

作品数:20 被引量:2H指数:1
供职机构:清华大学深圳研究生院更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:文化科学机械工程水利工程化学工程更多>>

文献类型

  • 17篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 3篇文化科学
  • 2篇机械工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇水利工程

主题

  • 15篇喷嘴
  • 9篇显影
  • 8篇显影液
  • 8篇流道
  • 6篇电路
  • 6篇电路芯片
  • 6篇芯片
  • 6篇集成电路
  • 6篇集成电路芯片
  • 5篇狭缝
  • 4篇喷涂
  • 4篇静压
  • 4篇出流
  • 3篇盲孔
  • 3篇复数
  • 2篇射流
  • 2篇凸台
  • 2篇气液分离
  • 2篇主流道
  • 2篇晶圆

机构

  • 20篇清华大学

作者

  • 20篇徐强
  • 18篇刘学平
  • 15篇向东
  • 14篇王汉
  • 12篇牟鹏
  • 11篇段广洪
  • 3篇刘睿
  • 2篇朱珂
  • 1篇周兆英
  • 1篇彭杰纲
  • 1篇朱俊华
  • 1篇王晓浩
  • 1篇周倩
  • 1篇徐杰
  • 1篇弥胜利
  • 1篇田瑞

传媒

  • 1篇生物医学工程...
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇开封教育学院...

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 5篇2016
  • 1篇2015
  • 9篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2007
20 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴,包括:喷嘴主体和挡流板;喷嘴主体包括一呈U型的主腔室,以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口;挡流板的横截面呈T型,插装于主腔室,挡流板密封主腔室口部,挡流板...
刘学平王汉向东牟鹏徐强段广洪
文献传递
基于计算机集散控制微型血液变温系统的设计与实现
2007年
血液变温在临床上得到广泛应用,如体外循环癌症全身灌注热疗、人体复温及器官移植手术中的血液变温等。目前医疗界应用的血液变温系统一般都是专门化的设备,存在体积庞大,扩充升级困难等缺点。我们介绍了新型基于计算机集散控制思想设计的易于硬件及软件扩展、微型化,集成了治疗管理功能的血液变温系统。并以全身灌注热疗应用为例进行了系统模拟实验。
徐强周兆英彭杰纲朱俊华
关键词:温度控制计算机集散控制
一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴
一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴,包括:喷嘴主体,该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道;开有一狭缝的矩形导流板,该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部,所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道...
刘学平王汉徐强向东牟鹏段广洪
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴,包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板,喷嘴底板安装于喷嘴主体,喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合;挡板安装于喷嘴底板,挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合,喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体,第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体,喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道,其中,所述第一板体侧立设置,所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴
一种尖嘴狭缝式出流结构工艺喷嘴,包括喷嘴主体、喷嘴底板和挡板,喷嘴底板安装于喷嘴主体,喷嘴主体的法兰凸台与喷嘴底板的第一凹槽相配合;挡板安装于喷嘴底板,挡板的凸台与喷嘴底板的第二凹槽配合,喷嘴底板的挡流板与凸台之间形成狭...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
文献传递
一种具有排气通道的显影喷嘴
一种具有排气通道的显影喷嘴,包括:喷嘴主体,喷嘴主体包含主腔室和位于所述主腔室下端的若干出流小孔;具有斜角结构的挡板,安装于喷嘴主体上背对喷嘴运动方向的一侧面,且能密封相应循环保温液流道;以及T形导流件,该T形导流件将主...
刘学平朱珂徐强刘睿
文献传递
一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴
本发明提供一种用于芯片显影工艺的工艺喷嘴,包括:喷嘴主体和挡流板;喷嘴主体包括一呈U型的主腔室,以及位于主腔室两侧且与主腔室相连通的显影液入口和显影液出口;挡流板的横截面呈T型,插装于主腔室,挡流板密封主腔室口部,挡流板...
刘学平王汉向东牟鹏徐强段广洪
文献传递
集成式出射流道结构工艺喷嘴
一种集成式出射流道结构工艺喷嘴,包括设有容置槽的喷嘴主体以及设有出射流道的第一板体,第一板体和喷嘴主体相对设置将所述容置槽封闭形成一个腔体,喷嘴主体设有连通所述腔体的供液通道,其中,所述第一板体侧立设置,所述出射流道包括...
刘学平徐强王汉向东牟鹏段广洪
晶圆显影过程中喷嘴液滴运动的数值计算被引量:2
2014年
集成电路制造过程中对晶圆显影工艺的均匀性有很高的要求,重点在于保证显影喷嘴出口—毛细管出流液滴的体积和滴落频率稳定。采用有限体积法对液滴的形成及脱落过程的纳维斯托克斯方程进行了求解,并对轴对称毛细管模型进行了结构化网格的划分,通过VOF(volume of fluid)模型针对液滴变化过程中的气液两相界面进行了追踪。分析了毛细管中流量逐渐加大对液滴低落频率及液滴体积的影响,并研究了在液体流速低于和高于临界流速的不同情况时不同的滴落过程。该研究有助于显影喷嘴设计过程中确定出口毛细管管径的大小、间距以及额定工作流量。
刘学平王汉徐强
关键词:有限元计算临界流速
共2页<12>
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