朱明轩
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学文化科学机械工程更多>>
- 激发表面等离子体的纳米光刻方法
- 一种半导体技术领域的激发表面等离子体的纳米光刻方法，首先利用电子束刻蚀方法将三角形Kretschmann棱镜结构制备成三角形光栅结构的石英模板，然后在石英模板的结构上沉积一层金属膜作为掩模板，最后在基片上甩涂一层光刻胶，...
- 李海华王庆康朱明轩
- 金属表面等离子体增透特性及其光刻研究
- 光刻技术是当前半导体元器件加工业应用最为广泛的一项技术。随着大规模集成电路和微结构光子学元器件的迅速发展,对光刻技术的精度和分辨率要求越来越高,但是由于光学衍射极限的存在,传统光刻技术的分辨率存在无法突破的极限。为了突破...
- 朱明轩
- 关键词：表面等离子体激元纳米光刻时域有限差分方法透射率
- 文献传递
- 激发表面等离子体的纳米光刻方法
- 一种半导体技术领域的激发表面等离子体的纳米光刻方法，首先利用电子束刻蚀方法将三角形Kretschmann棱镜结构制备成三角形光栅结构的石英模板，然后在石英模板的结构上沉积一层金属膜作为掩模板，最后在基片上甩涂一层光刻胶，...
- 李海华王庆康朱明轩
- 文献传递
- 表面等离子体透射增强提高光刻分辨率的模拟
- 2010年
- 讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32nm。首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊,整个模版覆盖了一层Ag,然后讨论了三角形底角角度变化对透射率和分辨率的影响。当角度在57°～64°之间变化时,得出三角形脊部有透射增强现象产生,最大透射振幅是入射光的4.2倍,分辨率为(30±5)nm。因为凹槽部分透射光强度很小,因此具有很好的分辨率。通过对比周期和非周期边界条件模拟,三角形脊的形状是产生透射增强现象的原因。
- 朱明轩李海华王庆康
- 关键词：表面等离子体激元纳米光刻FDTD方法光刻分辨率光栅
- 高校教师过往学术创业合规评价研究——基于上海交通大学三个观察维度的思考
- 2022年
- 在国家对高校教师学术创业的政策变迁中,高校对教师学术创业存在角色质疑、制度规范不清晰等问题,如何对教师过往以学术研究成果创办企业进行合规评价以促进企业规范发展是重要命题。文章通过对上海交通大学教师创业合规评价的探索实践,从利益平衡、合规评价、结果处理等方面出发,针对高校评价机制不完善、价值定位与合规评价禁止事项不清等问题,提出了过往教师学术创业合规评价的建议。
- 刘群彦顾志恒王玲刘婷陈舒舒吴瑕朱明轩
- 关键词：高校学术创业合规性
