李海元
- 作品数:36 被引量:62H指数:4
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划中国科学院战略性先导科技专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
- 碱催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能研究
- 以Zr(OC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备ZrO2溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶...
- 李海元唐永兴胡丽丽
- 关键词:溶胶-凝胶ZRO2
- 文献传递
- 多孔二氧化硅增透膜的改性研究
- 研究了甲基三乙氧基硅烷的预聚体(PMTES)对含有聚乙二醇(PEG)的SiO<,2>悬胶体的稳定性以及所得膜层的结构、形貌和稳定性的影响.结果表明:PMTES的掺杂仅仅改变了SiO<,2>悬胶体的粘度而对其稳定性影响较小...
- 贾巧英刘瑞军李海元唐永兴姜中宏
- 关键词:二氧化硅膜多孔膜杂化改性
- 文献传递
- 强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜
- 对不同比例的Si(OC<,2>H<,5>)<,4>:H<,2>O:C<,2>H<,5>OH:NH<,3>:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶...
- 唐永兴李海元严海华乐月琴贾巧英刘瑞军
- 关键词:减反膜溶胶凝胶法
- 文献传递
- 旋涂法涂制溶胶凝胶改性SiO2减反膜性能研究被引量:3
- 2019年
- 运用溶胶改性和溶剂置换的方法制备以癸烷为溶剂的SiO2溶胶,通过单面旋涂方法在方形50 mm×50mm×10mm的KDP晶体基片上制备均匀性良好的膜层。使用分光光度计测试涂膜的晶体基片,涂制三倍频及基频二倍频减反膜的KDP晶体基片在378nm和835nm处的透过率峰值均大于99.5%,膜层减反射效果良好。结合过滤技术及超声波清洗技术实现了膜层制备过程中的缺陷控制,将经过缺陷控制的三倍频减反膜涂制在洁净度高的熔石英陪涂片上,并在测试前进行激光(波长为355nm,脉宽为3ns)预处理,得到的三倍频减反膜的抗激光损伤阈值为(14.0±2.1)J·cm^2。
- 沈斌李海元张旭
- 关键词:溶胶凝胶二氧化硅旋涂法
- 掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究被引量:11
- 2006年
- 膜层稳定性对于激光器能否长期稳定使用极为重要。多孔SiO2减反膜经热处理后,结构中还存在许多Si-OH亲水基团,透过率稳定性受环境相对湿度的影响较大。向膜层中掺入有机硅,添加疏水基团,提高了膜层的疏水性,增强了膜层的透过率稳定性。膜层中加了Si-CH3疏水基团,膜层的疏水性大大提高;当Si-CH3与二氧化硅悬胶体中的Si的摩尔比为1/5.7时,即Si-CH3质量分数为0.35%时的二氧化硅膜层,其减反效果好,疏水性也高,从而大幅度提高了膜层的透过率稳定性,延长了膜层的寿命,对二氧化硅膜层具有高激光损伤阈值的性能没有影响。
- 李海元唐永兴
- 关键词:溶胶凝胶二氧化硅减反膜稳定性有机硅
- 溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文)被引量:1
- 2010年
- 以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。
- 李海元熊怀唐永兴胡丽丽
- 关键词:溶胶-凝胶
- 溶胶-凝胶SiO2减反膜疏水性研究(英文)
- 2012年
- 采用甲基三乙氧基硅烷(MTES)为部分前驱体制备了具有高疏水性溶胶-凝胶SiO_2减反膜。SiO_2溶胶以正硅酸乙酯(TEOS)和甲基三乙氧基硅烷为前驱体,在氨水的催化条件下水解制备。当甲基三乙氧基硅烷在前驱体中的质量分数超过20%时,膜层具有高疏水稳定性。改性膜层的折射率随甲基三乙氧基硅烷含量增高而下降。制备的含30%MTES的疏水减反膜具有较小的表面粗糙度(RMS:3.575nm)和较高的激光损伤阈值(15.64.J/cm^2,355 nm/12ns)。
- 李海元沈斌张旭唐永兴
- 关键词:溶胶-凝胶疏水性甲基三乙氧基硅烷
- 方形基片旋涂法镀疏水性二氧化硅减反膜(英文)
- 2012年
- 在方形基片上通过旋涂法制备了疏水性膜层。研究了减小几何效应和伯努利效应对膜层均匀性的影响。结果表明,疏水性氧化硅溶胶具有良好的稳定性。疏水性氧化硅膜层即使不进行热处理也有良好的防潮性能。在室温下和超过90%相对湿度环境下的膜层透过率分别达到99.5%和99%,水接触角分别达到1 36°和139°。关于改性溶胶,刚制备完成测得的平均粒度是35.27 nm,放置50天后测得的平均粒度是37.15 nm。
- 沈斌李海元熊怀唐永兴
- 关键词:溶胶-凝胶减反膜疏水性旋涂法
- 强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜被引量:4
- 2004年
- 对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值>15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%~7.5%.膜层表面均匀性优良.
- 唐永兴李海元严海华乐月琴贾巧英刘瑞军
- 关键词:溶胶-凝胶减反膜
- 碱催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能研究被引量:1
- 2007年
- 以Zr(CC3H7)4为前驱体,二甘醇为络合剂,在氨水的碱性条件下,水解制备Zr02溶胶,并加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)来提高膜层的激光损伤阈值,提拉法涂膜。采用粘度、粒度分布、IR、DSC、XRD、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明,ZrO2溶胶具有较好的粘度稳定性;薄膜表面均匀平整;ZrO2-PVP溶胶颗粒粒径分布比ZrO2溶胶的集中;ZrO2凝胶粉在329℃附近由非晶态转变为四方晶相结构,在600℃时已有单斜晶相结构出现,随温度的升高由四方晶相向单斜晶相结构转变;加入PVP能有效提高膜层的激光损伤阈值,ZrO2膜的激光损伤阈值为10.2J/cm^2(1064nm,1ns),ZrO2-PVP膜的激光损伤阈值为14.17J/cm^2(1064nm,1ns)。
- 李海元唐永兴胡丽丽
- 关键词:溶胶-凝胶ZRO2