李薇
- 作品数：8 被引量：0H指数：0
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：西北工业大学基础研究基金中国航空科学基金辽宁省微纳米技术及系统重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信兵器科学与技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 复合湿法腐蚀工艺制备硅基三维曲面
- 2013年
- 提出了将各向异性湿法腐蚀与各向同性湿法腐蚀相结合的复合工艺,通过控制刻蚀工艺参数进行体硅加工,成功刻蚀了硅基材料三维曲面回转体结构。在各向同性腐蚀过程中,由各向异性刻蚀得到的多面体结构的表面垂直腐蚀速率与刻蚀液浓度呈指数关系,而搅拌使得多面体结构表面峰值与谷底的刻蚀液存在流速差,基于此原理可得到光滑的三维曲面。刻蚀过程中,通过各向异性湿法腐蚀控制结构深度,通过各向同性湿法腐蚀"抛光"结构曲面。最后,采用实验优化湿法腐蚀过程的工艺参数,基于直径为600～1 000μm的圆形掩模板,在硅材料表面制备得到了高度为100～200μm的三维曲面回转结构。提出的工艺简单、有效且便于操作,有望用于制作不同曲面形状的三维硅结构及聚合物光学器件模具。
- 黎永前李薇郭勇君苏磊
- 关键词：湿法腐蚀各向异性各向同性三维曲面
- 典型挠性支承力学特性研究
- 2012年
- 根据材料力学相关知识,结合使用特性,推导结构弯曲刚度及固有频率解析式。利用ANSYS软件仿真分析零件结构尺寸与形位误差对其性能指标的影响,为加工与检验提供一定参考。
- 冯伟刚黎永前白晓荣李薇王晶龙
- 关键词：弯曲刚度固有频率ANSYS仿真
- 管缆大行程可逆精确自动检测方法及装置
- 本发明公开了一种管缆大行程可逆精确自动检测方法及装置。由机座、8个限位轮、两个张紧轮、计数轮、压紧限位轮、齿轮计数传感器、接近开关、感测元件组成。其特征是：接近开关及感测元件的使用，可实现对管缆测量运动方向的判断，实现可...
- 刘笃喜赵小军王新刚覃秋霞李浩朱琳李薇
- 文献传递
- 基于PCI总线的导引头电子舱检测系统的研制
- 导引头电子舱是导弹探测、跟踪目标物体的关键部件，它为导弹系统的精确制导提供了重要保证。因此，电子舱产品使用前的调试和检测至关重要，它们是保证电子舱的安全性和可靠性的前提条件。由此可见，为电子舱产品提供一个全面的、自动的和...
- 李薇
- 关键词：信号源PCI总线接口芯片驱动程序导弹
- 文献传递
- 管缆大行程可逆精确自动检测方法及装置
- 本发明公开了一种管缆大行程可逆精确自动检测方法及装置。由机座、8个限位轮、两个张紧轮、计数轮、压紧限位轮、齿轮计数传感器、接近开关、感测元件组成。其特征是：接近开关及感测元件的使用，可实现对管缆测量运动方向的判断，实现可...
- 刘笃喜赵小军王新刚覃秋霞李浩朱琳李薇
- 文献传递
- 一种硅材料锥形结构及其制备方法
- 本发明公开了一种硅底材料锥形结构及其制备方法，属于硅微加工技术领域。本发明将硅基材料干法刻蚀工艺与各向异性湿法腐蚀工艺、各向同性湿法腐蚀工艺相结合，制备出硅材料锥形结构，并用于微透镜的聚合物复制。所述硅材料锥形结构，包括...
- 黎永前李薇郭勇君张成林
- 文献传递
- 管缆大行程可逆精确自动检测装置
- 本实用新型公开了一种管缆大行程可逆精确自动检测装置。由机座、8个限位轮、两个张紧轮、计数轮、压紧限位轮、齿轮计数传感器、接近开关、感测元件组成。其特征是：接近开关及感测元件的使用，可实现对管缆测量运动方向的判断，实现可逆...
- 刘笃喜赵小军王新刚覃秋霞李浩朱琳李薇
- 文献传递
- 基于表面等离子波耦合的流体波导光栅耦合器
- 2012年
- 提出了一种由金属光栅和流体光波导结构组成的,基于表面等离子波耦合的光栅耦合器。利用光栅的衍射效应,将金属光栅与介质分界面之间产生的表面等离子波耦合到流体光波导中,并且能够沿着流体光波导稳定地向前传播。通过采用基于有限时域差分算法的FDTD Solutions软件对光栅耦合器进行了参数优化及特性分析,通过优化使该结构在650 nm波长下的耦合效率达到56%。此外,由于该结构对TE偏振光和TM偏振光的选择比达到70∶1,因此具有偏振器的功能。同时由于TE偏振光耦合频谱的频带宽度仅为20 nm,该结构还具有窄带滤波的作用。此外,还研究了光栅结构参数、入射角以及流体折射率对耦合频谱的影响。
- 王宁博李薇王晶龙黎永前
- 关键词：光栅偏振器窄带滤波器
