王亚军
- 作品数：19 被引量：32H指数：4
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金上海市教育发展基金会“曙光计划”项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>
- 用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作被引量：3
- 2009年
- 提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果。同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察。
- 王亚军杨春生刘景全沈修成郭忠元
- 关键词：PARYLENE微电极阵列MEMS
- 基于模压的中空微针批量制备方法
- 本发明公开了一种医疗器械技术的基于模压的中空微针批量制备方法，首先采用微细加工方法制备微针阵列的硬质模具，然后在生物相容的金属或聚合物薄板上制备微孔，微孔的间距与模具上微针阵列的间距相同，再通过模压将带孔的薄板压成突起的...
- 刘景全沈修成王亚军杨春生陈迪
- 文献传递
- 基于MEMS技术的异平面空心金属微针被引量：4
- 2009年
- MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。
- 沈修成刘景全王亚军郭忠元芮岳峰
- 关键词：MEMS微针电镀
- 聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究
- 2008年
- 首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数。结果表明,刻蚀速率随功率增加而增大,当功率为80 W时,刻蚀速率达到0.44μm/min,适当增大功率有利于各向异性刻蚀。刻蚀速率在一定范围内随气压增大而增大,工作压力为10.67 Pa时,刻蚀速率达到0.47μm/min;当气压超过10.67 Pa后,刻蚀速率基本保持不变。
- 王亚军刘景全沈修成杨春生郭中元芮岳峰
- 关键词：微流体系统反应离子刻蚀
- 用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法
- 本发明公布了一种用光刻胶热熔法制备球形凸起生物微电极阵列的方法，用光刻技术制作凸起的圆柱形光刻胶，并采用热熔回流光刻胶形成球形凸点，在衬底上均匀覆盖一层聚合物，作为器件的底部保护材料，图形化形成金属电极点和导线，再覆盖聚...
- 刘景全王亚军杨春生陈迪
- 文献传递
- 基于粒子群优化算法的PRT位置搜索方法
- 本发明公开一种基于粒子群优化算法的PRT位置搜索方法，步骤为：步骤1：产生随机种群，带有随机的初始速度；步骤2：更新粒子群的速度和位置；步骤3：比较新种群与原种群的次峰值，并进行判定和更新，重复进行步骤2、步骤3，直到循...
- 王亚军陈文宋沈煜
- 文献传递
- 基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作被引量：5
- 2011年
- 在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55%,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求.
- 芮岳峰王亚军刘景全杨春生
- 关键词：MEMSPARYLENE微电极阵列
- 用于药物传输的MEMS平面金属微针被引量：3
- 2009年
- 介绍了传统给药方式的局限性、微针应用于新的药物传输方式——透皮给药的优点以及微针的特点,并提出了一种基于微机电系统技术制作同平面金属微针的方法.采用该方法可制备实心微针和空心微针.这两种金属微针均采用电镀技术制作,既降低了成本又提高了微针的强度.微针为楔形,边缘比较光滑,针尖有较锋利的尖端,改善了刺入皮肤的效果;针体长度400μm,厚度50μm,其中空心微针中的微流道宽度为50μm.此类微针便于改变尺寸以满足不同的需要.用该微针进行了刺入鼠皮的实验,验证了该微针刺入皮肤的有效性.
- 闫肖肖沈修成刘景全王亚军孙文强徐宇虹
- 关键词：微针微机电系统电镀
- 减少OFDM系统的峰均功率比的研究
- 正交频分复用(OFDM)由于其对多径衰落的内在稳定性和对窄带干扰的抑制，已被广泛应用于无线局域网(WLAN) IEEE802.11a、无线城域网(WMAN)IEEE802.16a、数字音频广播(DAB)、数字视频广播(D...
- 王亚军
- 关键词：正交频分复用选择性映射峰均功率比人工蜂群算法
- 基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试被引量：10
- 2008年
- 微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用AC-DC电路把交流转换为直流,实现为MEMS器件供能。文中给出了微能量采集器的测试电路,同时给出了测试结果,论证了在低频环境下这种微能量采集器的可行性。
- 沈修成方华斌王亚军刘景全
- 关键词：MEMS压电效应悬臂梁
