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王振波

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇正方形
  • 1篇各向异性
  • 1篇腐蚀速率
  • 1篇TMAH
  • 1篇粗糙度

机构

  • 1篇辽宁大学
  • 1篇中国科学院金...

作者

  • 1篇付世
  • 1篇沈桂芬
  • 1篇王振波
  • 1篇丁德宏
  • 1篇刘宏俊
  • 1篇吕品
  • 1篇姚朋军
  • 1篇杨春常

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析被引量：1
2002年
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
沈桂芬姚朋军丁德宏付世吕品杨春常刘宏俊王振波
关键词：TMAH粗糙度腐蚀速率
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共1页<1>
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