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王柯
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北京科技大学
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张雅茹
北京科技大学
董燕
北京科技大学
刘玮书
北京科技大学
焦力实
北京科技大学
张波萍
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张波萍
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张雅茹
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2008
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一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法,属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料领域。在溅射设备内同时安装Cu、Ag和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶...
张波萍
焦力实
刘玮书
董燕
王柯
张雅茹
文献传递
一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法。在溅射设备内同时安装Cu、Au和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶的功率、氩气流量的单独控制,制备出具有纳米层状...
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一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法,属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料领域。在溅射设备内同时安装Cu、Ag和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶...
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一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法。在溅射设备内同时安装Cu、Au和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶的功率、氩气流量的单独控制,制备出具有纳米层状...
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