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文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇氧化物
  • 4篇氧化物薄膜
  • 4篇纳米
  • 4篇纳米层
  • 4篇金属
  • 4篇溅射
  • 4篇溅射设备
  • 4篇纯金属
  • 2篇铜金
  • 2篇

机构

  • 4篇北京科技大学

作者

  • 4篇张波萍
  • 4篇王柯
  • 4篇焦力实
  • 4篇刘玮书
  • 4篇董燕
  • 4篇张雅茹

年份

  • 2篇2008
  • 2篇2005
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法,属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料领域。在溅射设备内同时安装Cu、Ag和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶...
张波萍焦力实刘玮书董燕王柯张雅茹
文献传递
一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法。在溅射设备内同时安装Cu、Au和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶的功率、氩气流量的单独控制,制备出具有纳米层状...
张波萍焦力实刘玮书董燕王柯张雅茹
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一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法,属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料领域。在溅射设备内同时安装Cu、Ag和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶...
张波萍焦力实刘玮书董燕王柯张雅茹
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一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法
本发明提供了一种铜金纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法。在溅射设备内同时安装Cu、Au和氧化物三个溅射靶,在每个溅射靶和基板前分别设置遮板,通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶的功率、氩气流量的单独控制,制备出具有纳米层状...
张波萍焦力实刘玮书董燕王柯张雅茹
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共1页<1>
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