王玮冰
- 作品数：113 被引量：78H指数：5
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学理学更多>>
- 一种温盐溶解氧传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种温盐溶解氧传感器，在衬底的表面设置有相互绝缘的温度工作电极、电导率工作电极和溶解氧工作电极。其中电导率工作电极以及温度工作电极使得衬底中同时集成有温度传感器以及电导率传感器；其中隔离层覆盖溶解氧工作电极的...
- 尚海平曹治王英辉王玮冰
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- CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作
- 研究了一种与CMOS工艺兼容的红外焦平面阵列,在SOI的顶层硅制作横向PN结敏感单元,多晶硅作为微像素支撑桥,氧化层和非晶硅填充的深槽作为XeF2释放阻挡结构。首先,对基于PN结温阻效应的器件的基本工作原理进行了分析探索...
- 明安杰陈大鹏欧文王玮冰何伟刘占峰
- 关键词：FPACMOSSOI
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- 悬浮结构的MEMS红外光源
- 本实用新型公开一种悬浮结构的MEMS红外光源。所述悬浮结构的MEMS红外光源包括薄膜悬浮结构及所述悬浮结构上的红外光源结构；所述薄膜悬浮结构为图形化的支撑层，所述支撑层为沉积在承载衬底上的凹弧状的四梁固支结构；所述红外光...
- 明安杰刘卫兵任耀辉毛海央谭秋林王玮冰熊继军陈大鹏
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- 一种SiC压力传感器
- 本发明公开了一种SiC压力传感器，本发明技术方案所述SiC压力传感器中，一方面，将压阻条设置在第二区域内，可以与现有SiC压力传感器一样使得压阻条位于承压膜片对应压力腔的开口边线附近区域，实现输出电压的最大化，另一方，设...
- 尚海平孙业超王英辉王玮冰
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- 基于MEMS的光力学红外成像被引量：23
- 2004年
- 非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注。近期 ,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备。本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪。此红外探测仪的核心器件焦平面阵列 (FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成。每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形。它不需要读出电路、真空腔和制冷装置 ,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统 ,而制作成本和难度将大幅降低。制作的无硅基底单层膜结构的FPA ,其单元尺寸为 2 0 0 μm× 1 0 0 μm ,阵列大小为 1 5 0× 1 0 0像素数。实验制作的系统探测到温度为 5 0 0K左右的热物体像 ,热像采样频率为 1 2幅 /秒。
- 潘亮张青川伍小平段志辉陈大鹏王玮冰郭哲颖
- 关键词：非制冷微悬臂梁像素数红外成像系统光力学FPA
- 一种自校准红外热电堆温度传感器及自校准方法
- 本发明涉及红外传感技术领域，尤其涉及一种自校准红外热电堆温度传感器及自校准方法包括发热电阻与信号处理模块连接；热电堆通过放大器与信号处理模块连接；本地温度测量模块与信号处理模块连接；信号处理模块与自校准响应分析模块连接，...
- 黄宽王玮冰李佳
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- 基于薄膜结构的MEMS技术研究被引量：5
- 2004年
- 报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果,包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作。
- 陈大鹏王玮冰欧毅杨清华谢常青刘辉董立军叶甜春
- 关键词：氮化硅微电子机械系统有限元模拟
- 双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列的设计与制作被引量：2
- 2005年
- 本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——微悬臂梁阵列的设计和制作，它是SiNx／Au双材料单层膜结构，简化制作工艺、可以直接在空气中成像。实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD，得到120℃以上的物体热像，噪声等效温度差（NETD）为5K左右，实验结果与热机械模型预测结果一致。
- 董凤良潘亮张青川伍小平陈大鹏王玮冰郭哲颖
- 关键词：非制冷红外成像光学读出
- 用于抗菌药物敏感实验的倍比稀释微流控芯片被引量：1
- 2019年
- 基于微流控梯度网络理论和相关的数学模型,设计了一种新型的浓度倍比稀释微流控芯片结构,对其混合和稀释功能进行了仿真,并结合微加工工艺进行了芯片制备。初步实验结果表明,芯片两个入口处分别以3.267∶1的体积流量比注入去离子水与待稀释试剂样品时,在混合通道入口处两种流体能够进行等体积混合。当芯片两个入口的体积流量分别设置为1.225μL/min和0.375μL/min时,经过4 min后在芯片的四个出口可分别得到经过两倍稀释后的试剂样品,稀释精度达到98%。该浓度状态能长时间保持稳定,进而为抗菌药物敏感实验的研究提供了一条方便快捷、试剂用量少的新途径。
- 刘洋刘洋毛海央范文兵杨潇楠黄成军
- 关键词：微流控芯片微加工工艺抗菌药物浓度梯度
- 一种抛弃式传感器
- 本实用新型公开了一种抛弃式传感器，测量方法包括：在指定水域放出抛弃式传感器，抛弃式传感器到达指定深度时，主控模块发出控制指令，抛弃式传感器上的重物与主舱体分离，主舱体上浮至水面，抛弃式传感器在下沉过程或上浮过程中对指定参...
- 田川林俊王玮冰张胜宗张彦鹏许达贞卢劭聪罗鹏徐霄阳李佳林良德
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