程贵均
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国工程物理研究院核物理与化学研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
- 相关领域：理学环境科学与工程更多>>
- 氚化钛时效初期行为研究
- 氚衰变生成氦-3 聚集会引起临氚和贮氚材料物理和化学性能的明显变化，因此，本工作用XRD 研究了氚化钛的晶体结构在贮存早期Hegen/Ti<0.110 的演化规律，并结合其贮存初期的热解析谱，对氦在氚化钛中的分布及其贮存...
- 周晓松程贵均龙兴贵彭述明罗顺忠
- 关键词：XRD热解析晶体结构
- 文献传递
- 薄膜理想台阶的制备方法研究
- 2013年
- 目的研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响,准确测试薄膜的厚度。方法分析制备台阶中存在的问题,针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板,并采用该新型掩膜板,在不同衬底上制备台阶,用台阶仪对薄膜的厚度进行测定。结果在薄膜中轴线附近做出的台阶,坡度陡峭,上下表面清晰。Mo衬底上制备出的薄膜厚度重复性较好;单晶硅衬底上制备的薄膜表面粗糙度较大;石英衬底上制备薄膜形成的台阶上下表面均较为平滑。结论使用新型掩膜板在石英衬底上制备出理想台阶,可较为准确地测试薄膜的厚度。
- 付文博梁建华王维笃周晓松杨本福程贵均
- 关键词：膜厚粗糙度
- 氚靶常温贮存中氚致放射性污染的初步研究
- 近年来,随着各类研究及试验用氚靶的不断生产,废旧氚靶库存数量不断增加,因此,有必要对氚靶常温贮存过程中氚致放射性污染进行研究,减少操作人员的内照射危害以及对环境的放射性污染。
- 孙洪伟程贵均刘文科龙兴贵杨本福
- 文献传递
