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章壮键
作品数:
1
被引量:7
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供职机构:
复旦大学材料科学系
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
沈杰
复旦大学材料科学系
蔡臻炜
复旦大学材料科学系
沃松涛
复旦大学材料科学系
崔晓莉
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杨锡良
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沈杰
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真空科学与技...
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2005
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锑在直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜中的作用
被引量:7
2005年
用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Sb修饰TiO2 薄膜 ,利用XRD ,Raman光谱以及SIMS研究了Sb对其表面结晶情况的影响并用XPS及SIMS分析了薄膜的成分。结果表明一定程度Sb的修饰对TiO2 薄膜成晶有优化作用 ,起到了类似表面活性剂的作用 ,并使薄膜表面的光致亲水性能得到改善。当Sb修饰过量时 ,破坏了TiO2 原有的晶格结构 ,劣化了薄膜表面的光致亲水性。
蔡臻炜
沃松涛
沈杰
崔晓莉
俞宏坤
杨锡良
章壮键
关键词:
直流反应磁控溅射
TIO2薄膜
二氧化钛薄膜
RAMAN光谱
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