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章壮键

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化钛薄膜
  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇光谱
  • 1篇二氧化钛薄膜
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇RAMAN光...
  • 1篇SIMS
  • 1篇TIO2薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇俞宏坤
  • 1篇章壮键
  • 1篇杨锡良
  • 1篇崔晓莉
  • 1篇沃松涛
  • 1篇蔡臻炜
  • 1篇沈杰

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
锑在直流反应磁控溅射制备二氧化钛薄膜中的作用被引量：7
2005年
用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上制备了Sb修饰TiO2 薄膜 ,利用XRD ,Raman光谱以及SIMS研究了Sb对其表面结晶情况的影响并用XPS及SIMS分析了薄膜的成分。结果表明一定程度Sb的修饰对TiO2 薄膜成晶有优化作用 ,起到了类似表面活性剂的作用 ,并使薄膜表面的光致亲水性能得到改善。当Sb修饰过量时 ,破坏了TiO2 原有的晶格结构 ,劣化了薄膜表面的光致亲水性。
蔡臻炜沃松涛沈杰崔晓莉俞宏坤杨锡良章壮键
关键词：直流反应磁控溅射TIO2薄膜二氧化钛薄膜RAMAN光谱SIMS
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