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邹强

作品数：3 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程

主题

  • 3篇电容
  • 3篇电容式
  • 2篇速度传感器
  • 2篇微机械
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇对称体

机构

  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 3篇邹强
  • 3篇陆德仁
  • 2篇王渭源
  • 1篇李宝清
  • 1篇熊幸果

传媒

  • 2篇功能材料与器...
  • 1篇2000全国...

年份

  • 1篇2000
  • 2篇1998
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
低量程电容式力平衡加速度传感器
微机械电容式加速度传感器适合于在低量程发挥优越性。本文介绍一种三明治结构电容式加速度传感器和接口电路(加速度计)的工作原理、结构设计、接口电路框图、静电力和工作模式,作者提出了适合于特低量程的浅反馈或开环工作模式和采用具...
陆德仁李宝清邹强尤绍麟
文献传递
对称体微机械电容加速度传感器的结构设计被引量：6
1998年
描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度频率积取优值的方法进行加速度计的结构参数优化。采用了一种新颖的微力微位移天平测试方法，初步测量了加速度计结构的静态特性。
邹强陆德仁王渭源
关键词：微机械加速度传感器电容式
硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究被引量：5
1998年
提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出优化的结构参数。本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同时可避免器件与衬底材料的寄生电容。这种结构的传感器对界面电路的要求较低，更便于制出集成化处理电路。
熊幸果邹强陆德仁王渭源
关键词：微机械加速度传感器电容式
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