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郑小飞

作品数：2 被引量：4H指数：2
供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院机器人技术与系统国家重点实验室更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 1篇运动学
  • 1篇运动学标定
  • 1篇误差补偿
  • 1篇参数辨识

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇郑小飞
  • 1篇刘延杰
  • 1篇吴明月

传媒

  • 1篇哈尔滨工业大...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
晶圆传输机器人标定技术研究被引量：3
2010年
为了提高高速高精度晶圆传输机器人的定位精度,建立了精度分析和运动学标定为一体的精度保障体系.针对机器人的特点,建立了误差模型,分析了各结构几何参数误差源的灵敏度,提出了结合几何误差迭代法和基于运动学逆解的非线性参数辨识的分步标定方法,对其进行了标定,并对几何结构参数进行了误差补偿.仿真分析以及实验证明:机器人定位误差达到0.07mm,有效地提高了机器人末端的定位精度.
刘延杰郑小飞吴明月
关键词：运动学标定参数辨识误差补偿
晶圆传输机器人平稳精确轨迹控制技术
集成电路(IC)制造装备是电子信息产业的核心，是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一。晶圆传输系统是 IC装备中必不可少的组成部分，其中的晶圆传输机器人是晶圆传输系统的关键部件，主要承担着晶圆的精确定位与快速、平稳...
郑小飞
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