陈哲
- 作品数：15 被引量：28H指数：2
- 供职机构：长春理工大学更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学金属学及工艺更多>>
- 球面基底上制作微柱面透镜工艺研究
- 2014年
- 针对目前在球面基底上制作微透镜阵列工艺复杂,制作成本昂贵等问题,介绍了一种激光直写光刻和光刻胶热熔成型相结合的新的加工技术。为此改造了球面刻划机,搭建了405nm激光曝光光源系统,同时建立三维坐标体系,实现微透镜阵列在球面空间位置的定位。在理论分析和合理设计的基础上,使用BP212正性光刻胶在口径50mm,曲率半径60mm的球面基底上制作出线宽为50μm,矢高为2μm,切面曲率半径约为157μm的微柱面透镜阵列,并给出了测试结果。结果表明:在球面基底曲率半径一定时,通过阶梯升温光刻胶和对其快速冷却等微细加工方法,克服了光刻胶熔融状态时的流动性问题,证明此种加工方法对球面微透镜阵列的制作具有很好的可行性。
- 尹航董连和宋璇陈哲
- 关键词：微透镜阵列激光直写光刻
- 小型三轴数控铣床结构优化设计
- 随着计算机技术和现代设计技术的快速发展，数控加工技术也随之建立起来。如今制造行业对数控机床的迫切需求使得数控机床的应用范围还在不断扩大，并且不断发展以适应更多生产加工的需要。对于微小型零件的加工制造，采用小型机床可以在提...
- 陈哲
- 关键词：有限元分析
- 硅基自由曲面光学微透镜阵列制作的光学性能研究被引量：9
- 2012年
- 针对自由曲面无固定解析式的特点,根据感光材料的光化学作用原理,以及曝光能量与曝光深度的制约关系,提出采用变剂量曝光的光刻方法制作自由曲面光学微器件。从光传播理论出发,分析了曝光过程光刻胶中光能量分布规律和曝光深度随曝光能量的变化关系,建立了光分布规律的数学模型,并应用计算机软件对模型进行仿真。结果表明:光能量在胶膜内呈规律性分布,在能量一定的情况下曝光深度随时间规律性增加,并逐渐达到饱和。同时,应用长春理工大学BOL500型复合坐标激光直写系统,选用美国Futurrex62A光刻胶、波长412 nm He-Ge气体激光器、5‰NaOH显影液进行曝光及显影实验,所得实验数据与仿真结果吻合。
- 孙艳军冷雁冰陈哲董连和
- 关键词：自由曲面光刻蚀刻
- 方形孔径微透镜阵列与红外焦平面集成技术研究
- 2013年
- 针对红外焦平面阵列自身存在的占空比小、光能利用率低的问题,提出利用光胶技术将方形孔径球面微透镜阵列与红外焦平面集成。从理论角度分析了微透镜阵列集成的聚能效应。设计"栅线"和"十字"双对准标记,采用衍射光栅同轴对准方法实现器件的对准。经过对集成前后红外焦平面性能进行对比,发现响应率提高了近40%,探测率提高了约20%,红外焦平面的噪声从758.89μV下降到668.23μV。最终得到结论:光胶法用于两种器件的集成具有耐温性好、变形小、强度高等优点,集成后红外焦平面的探测性能显著提高,有利于探测器微小型化发展。
- 孙艳军陈哲冷雁冰董连和
- 关键词：红外焦平面微透镜阵列
- 自由曲面光学微镜阵列
- 一种自由曲面光学微镜阵列，属于光学技术领域，采用基片和微透镜构成，微透镜为矩形，其表面为自由曲面，微透镜均匀排列在基片上。本实用新型减小单元间距，其理论占空比可达95%以上，光敏面的光能利用率得到极大提高。
- 孙艳军董连和冷雁冰陈哲
- 文献传递
- 用于红外焦平面的正方形孔径球面微透镜阵列研究被引量：12
- 2012年
- 针对目前红外焦平面光敏阵列中存在的占空比小、光能利用率低的实际问题,展开了正方形孔径球面微透镜阵列制作及其与红外焦平面阵列集成应用的研究.本文从红外焦平面光敏阵列特点入手,对比分析了正方形孔径相比于传统圆形孔径微透镜阵列在光能利用上的优势.提出正方形孔径微透镜阵列激光直写变剂量曝光制作技术,建立光刻胶曝光数学模型和正方形球面微透镜面型函数,以此为基础,编制直写设备变剂量曝光控制软件;利用长春理工大的学复合坐标激光直写系统和等离子刻蚀机进行相关工艺实验,制作了阵列256×256、单元尺寸40×40μm2、球面半径60μm、单元间距1μm的红外石英微透镜阵列;并将其与相应阵列的碲-镉-汞红外光敏阵列进行集成.结果表明:微透镜的占空比达到95%,红外焦平面光能利用率从原来的60%提高到90%以上.由此得出结论:变剂量曝光制作微透镜技术是可行的,正方形孔径球面微透镜阵列代替圆形孔径微透镜阵列,对于提高红外探测器的灵敏度、信噪比、分辨率等性能具备明显优势.
- 孙艳军冷雁冰陈哲董连和
- 关键词：红外焦平面
- 柱面微透镜阵列用于提高OLED图像质量的研究被引量：2
- 2012年
- 微透镜阵列用于OLED是改善其输出效率和图像质量的一种有效技术途径。本文将薄膜柱面微透镜阵列用于全彩色OLED平板显示器,研究视角与亮度和色坐标的关系,重点分析了微透镜阵列相对于子像素在不同排列形式下对图像质量指数的影响。研究结果表明,柱面微透镜阵列在提高OLED输出效率的同时,可以明显改善显示器图像的质量,并且,垂直排列时图像质量指数达到了0.8637,优于平行排列时的情况。
- 张凯华董连和孙艳军冷雁冰陈哲
- 关键词：OLED图像质量
- 蒸发速率对电子束蒸发法制备CdS薄膜性质影响被引量：1
- 2015年
- 采用电子束蒸发法,以高纯Cd S块料为膜料在玻璃基底上制备了Cd S薄膜。利用X射线衍射仪和原子力显微镜表征其晶体结构和表面形貌,用四探针电阻测试仪和紫外可见分光光度计分析其电学及光学特性。结果表明,蒸发速率对薄膜结构及特性有显著影响,其中在蒸发速率为10?S-1制备的Cd S薄膜均匀致密且其XRD衍射峰强度最大,薄膜的光电性能最好。这些Cd S薄膜的光敏性达到7.7×102,其中亮电阻的最小值为1350Ω/□。
- 陈哲董连和王丽孙艳军冷雁冰
- 关键词：CD电子束蒸发法光电性能
- 100%填充系数的微透镜阵列薄膜及应用研究被引量：2
- 2012年
- 研究了掩模移动法制作一种高填充因子、高垂跨比的柱面微透镜阵列(MLA)薄膜,并应用于有机发光二极管(OLED)平板中来提高输出效率。测试结果显示OLED的输出效率最多可以提高46%,并且没有明显的色差。实验证明具有高填充因子、高垂跨比的微透镜阵列薄膜可以提高各种显示器的光学效率或者平板光源的照明效果。
- 张凯华董连和孙艳军冷雁冰陈哲
- 关键词：有机发光二极管
- 基于矩形微透镜阵列的红外焦平面集成技术研究被引量：2
- 2014年
- 微小型化是红外焦平面探测器发展的必然趋势,微小型化将使目前焦平面阵列存在的占空比小、光能利用率低的问题体现的更加明显,针对这一状况,提出一种利用分子间引力的光胶技术将矩形孔径球面微透镜阵列集成于红外焦平面之中。采用几何光学理论分析了微透镜阵列的聚能效应,设计并制作"栅线"和"方孔"双对准标记,采用衍射光栅同轴对准方法使两种器件的对准精度达到0.1μm。对集成前后红外焦平面阵列性能进行测试,发现响应率提高了近40%,探测率提高了约20%,红外焦平面的噪声从758.89μV下降到668.23μV。最终得到结论:光胶法用于两种器件的集成具有耐温性好、变形小、强度高等优点,集成后红外焦平面的探测性能显著提高,有利于探测器微小型化发展。
- 孙艳军陈哲冷雁冰董连和
- 关键词：红外焦平面微透镜阵列
