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基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统被引量：4: 2015年; 微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量级触发分辨力的新型谐振测头。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride,PVDF)薄膜的压电特性和其谐振参数对微小作用力的高敏感性,PVDF薄膜与一体式光纤微测杆测球相结合构建成了基于PVDF薄膜的三维纳米谐振触发测头。该测头在z向以轻敲模式接触,在x、y向以摩擦模式接触。经过试验验证,由该测头与三维纳米定位平台、数据处理及反馈控制系统相结合构建成的三维谐振纳米触发定位系统在x、y、z三个方向的触发分辨力都达到了亚纳米量级,分别为0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm;三维重复性误差分别为26 nm、36 nm、10 nm。试验结果证实了新型三维谐振测头及其系统的有效性。; 李志渤黄强先史科迪韩彬余惠娟

双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法: 本发明公开了一种双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承...; 余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤; 文献传递

微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究（英文）被引量：1: 2013年; 本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统。纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块。在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头应用于三维测量以及定位。三个压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机。机械机构的运动平台按照特殊的原理设计,可以最大化的消除阿贝误差。长度测量系统采用了激光回馈干涉仪。所提出的驱动与控制策略,可以实现长距离纳米级精度的快速精密驱动以及定位。X、Y、Z三个方向上的行程为50mm×50mm×50mm。目前,本系统可以实现对不定距离的单方向的快速稳定的逼近,并有效防止过冲。在一维内,不同位置点的定位波动可以被控制在±4nm左右。经过目前的测试,本系统适用于纳米三坐标测量机的驱动与控制任务。; 黄强先宫二敏韩彬张维富徐从裕; 关键词：纳米三坐标测量机压电直线电机反馈控制

基于DVD光学头的二维微小角度测量研究被引量：4: 2015年; 为了实现精密平台二维角度的在线检测,提出了一种基于DVD光学头的二维微小角度测量的方法。利用DVD光学头进行角度测量,是基于激光自准直原理,以四象限光电探测器作为检测元件,以固定在被测物上的反射镜作为被测元件进行测量的一种角度测量方法。搭建了基于英国RPI精密转台的实验系统,对测量方法进行了实验测试。结果表明:基于DVD光学读取头设计的二维角度测量装置测量范围为±110″,平均分辨率达到0.2″。该测量方法稳定、可行,且测量装置具有结构紧凑、成本低等特点。; 韩彬黄强先伍婷婷李瑞君陈丽娟; 关键词：光学头

具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统: 本实用新型公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本实用新型中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚...; 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟; 文献传递

具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统: 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...; 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟; 文献传递

二维工作台三维角度误差检测及补偿系统研制: 为了减小二维工作台在运行中的三维角度误差，提高其定位精度，本课题提出了一种基于DVD光学头和二维工作台的工作台三维角度误差检测及补偿系统。该系统可以在工作台工作时对其偏摆角、俯仰角及滚转角误差进行测量，并通过调整微动台对...; 韩彬; 关键词：运行管理 DVD光学头补偿系统

具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统: 本发明公开了一种具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统，采用基于压电陶瓷致动器和柔性铰链设计的六自由度微动工作台对大行程二维工作台进行直线定位及角度误差的综合补偿。本发明中，大行程二维工作台采用步进电机结合滚珠丝杠的...; 黄强先张昔峰袁钰韩彬胡小娟; 文献传递

双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法: 本发明公开了一种双端音叉扫描探针测头系统及其测量方法，由刚性支承、双端音叉和钨探针构成。刚性支承为整个扫描探针测头系统的刚性支承件，用于固定整个测头机构，并对双端音叉的一个叉端形成全约束。双端音叉的一个叉端连接于刚性支承...; 余惠娟黄强先韩彬胡小娟张蕤

基于矢量匹配的杆塔五端口宽频建模方法: 本发明公开了一种基于矢量匹配的杆塔五端口宽频建模方法，属于输电线路杆塔建模技术领域。该方法包括以下步骤：搭建杆塔三维数值模型，仿真计算导体中点电位升，获取端口频域阻抗参数，进行矢量匹配得到极点‑留数模型，建立杆塔五端口宽...; 向念文倪嘉伟王书来陆翌叶寿洪柯一帆韩彬赵国亮乔光尧邵冰冰李科杰裘鹏吴烨欣谭永旭秦呈呈李兆坤李浩王博伟

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韩彬