马广鹏
- 作品数：3 被引量：16H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学天文地球更多>>
- 高质量简谐振子的研制被引量：1
- 2006年
- 介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素,在试验中对各向异性腐蚀工艺进行了研究和改进,制作出了高质量的简谐振子。成功用于国家自然科学基金项目“光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究”的集成光学器件试验中。
- 马广鹏陈才和唐东林崔宇明
- 关键词：MOEMS简谐振子优化设计各向异性腐蚀
- 硅微光机械加速度地震检波器中M-Z光波导干涉仪结构设计被引量：15
- 2006年
- 提出了一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器。对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计,采用K9玻璃作为基底层和包层材料,Bak7玻璃作为波导层材料,波导的宽度为4μm,厚度为0.4μm。M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲,为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构,应用波导转向镜实现了大角度光路转折,反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现,并利用BPM进行了仿真。为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化,加了4个长度为1 mm的TE模偏振器以保持其偏振态。实验结果与理论相符。
- 张燕君陈才和吴波崔宇明马广鹏
- 关键词：加速度计M-Z干涉仪
- 硅基微光机械加速度地震检波器的研制
- 随着我国经济的高速发展,能源开发对国民经济,社会发展乃至国家安全而言显得日益重要,其中石油供应是国家能源安全问题中最为迫切的问题.为缓解我国油气供不应求的现状,增加石油储备,寻找油气勘探战略接替区已经成为当务之急.鉴于容...
- 马广鹏
- 关键词：地震检波器硅微机械简谐振子
- 文献传递
